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차세대 반도체 Spinner 장비 설계와 로봇 학습을 위한 GTP 개발 원문보기
Design of Next Generation Semiconductor Spinner Equipment and Development of GTP for Robot Teaching

  • 저자

    윤성희

  • 학위수여기관

    호서대학교 대학원

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    컴퓨터공학과 자연어처리전공

  • 지도교수

  • 발행년도

    2004

  • 총페이지

    23p.

  • 키워드

    차세대반도체 Spinner 장비설계 로봇학습 GTP;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T10040773&outLink=K  

  • 초록

    기존의 3 Coater - 3 Developer 구조의 반도체 Spinner 장비는 동시에 처리할 수 있는 웨이퍼의 양이 3개로 제한적이며 HP와 CP Unit이 따로 존재하기 때문에 웨이퍼의 생산성을 저하시키는 단점이 있다. 이를 보완하기 위하여 본 연구에서는 6C-6D 형태의 구조를 갖고 HP와 CP의 Unit을 HCP와 PEB Unit으로 변경시킨 새로운 구조의 Spinner를 설계하였으며, 이 장비의 로봇들을 학습시키고 테스트하기 위한 GTP 개발에 관하여 논한다. 새로운 구조의 Spinner 장비에서 각 Unit 로봇들을 효과적으로 학습시키기 위하여 장비의 구성 요소에 따라 사용자 인터페이스용 레이아웃을 능동적으로 설계하도록 하였으며 구성 요소들 간의 관계를 정의하고 사용자 편의성에 적합한 구성 요소들을 유연성 있게 배치하도록 하였다. 본 논문에서 설계한 GTP는 반도체 Spinner 장비의 Robot 제어를 쉽도록 하였으며, Unit들의 위치 Teaching 정확도를 향상 시켰다. 반도체 Spinner 장비에서의 GTP 사용은 Spinner 장비에 문제점이 발생 할 경우 즉각적인 대처가 가능함으로써 지속적인 Spinner의 가동을 가능하게 하며, 지속적인 Spinner 장비의 운용은 Wafer 생산량을 향상 시키는데 기여하였다.


    Because the existing semiconductor spinner of 3 Coater-3 Developer structure can deal with only three wafers at a time and its HP and CP unit are separated from each other, it lowers wafer throughput. To resolve the problem, we design a spinner that has 6C-6D structure and changes HP and CP unit into HCP and PEB unit, and discuss the development of GTP to teach and test robots used in the equipment. For effective teaching of each unit robot in the spinner of new structure, the layout for user interface can be designed according to the components of equipment, relationships among the components can be defined, and components appropriate for users' convenience can be deployed flexibly.


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