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학위논문 상세정보

산소 방전의 공간평균모형 연구 원문보기
(A) study on global modeling of oxygen discharge plasma

  • 저자

    김선자

  • 학위수여기관

    東亞大學校 大學院

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    물리학과

  • 지도교수

  • 발행년도

    2004

  • 총페이지

    iii, 32p.

  • 키워드

    산소방전 공간평균모형 방전현상;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T10065562&outLink=K  

  • 초록

    공간평균모형(global model)을 이용하여 고 밀도 산소 플라즈마의 하전입자 및 중성입자들의 밀도, 전자온도 등이 중성기체의 압력과 인가전압에 따라 어떻게 변하는지 계산하였다. 전자밀도는 인가전력에 따라서 증가하는 경향을 보였으며 압력이 20 mtorr이상 되면 압력의 중가에 따라 감소함을 보였다. O_(2)^(+)는 지배적인 양이온으로서 압력과 인가전력에 대해 크게 의존하지 않으며, 반면에 O^+ 이온의 밀도는 15 mtorr이상의 압력에서 확연히 감소함을 보인다. 인가전력이 증가하면서 중성입자의 해리도가 증가하고, 압력이 증가하면서 해리도가 감소하는 경향을 보였으며, O_(2)(a^(1)△g) 밀도는 압력이 증가하면 증가하였다. 음이온은 압력이 증가하면 증가하다가 30 mtorr이상에서는 포화치에 도달하였다. Global model을 이용해 계산한 전자온도(T_(e))는 실제 실험치보다 약간높은 값으로 나타났고 plasma potential(V_(pl))은 실험치보다 낮은 값으로 나타났다.


    We calculated charged particle densities and electron temperature for various neutral gas pressures and applied powers using global model. Electron density begins to decreases with increased pressure at 20 mTorr and increases with increased power. O_(2)^(+) density does not depend on greatly about power and pressure, and is dominant positive ion, O_(2)^(+) density is shown to decrease at pressures above 10 mTorr. The degree of dissociation of neutral particle increases with increased power and decreases with increased pressure. O_(2)(a^(1)△g) density increases with increased pressure. O^(-) density increase with increased pressure, saturates at above 30 mtorr. Electron temperature was predicted somewhat higher value than experimental value and the plasma potential was predicted lower value than experimental value.


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