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학위논문 상세정보

MEMS기술을 이용한 자기효과 광 Scanner의 제작 및 특성 원문보기
Fabrication of Magnetic-Effect Optical Scanner Utilizing MEMS Technology and Its Properties

  • 저자

    김흥근

  • 학위수여기관

    東亞大學校 大學院

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    전기공학과

  • 지도교수

  • 발행년도

    2004

  • 총페이지

    iv, 27p.

  • 키워드

    MEMS 자기효과 광스캐너 광SCANNER 전자공학;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T10067248&outLink=K  

  • 초록

    본 논문에서는 micromachining기술을 이용하여 광 스캐너(optical scanner)의 구조를 변화시키고, 그에 따른 스캐너의 효율을 개선하였다. 이를 위해 습식 식각을 이용하여 광 스캐너 반사경의 torsion bar의 모양을 I형에서 S형 타입으로 변화시켰으며, 실리콘 기판에 Cu가 Sputtering 되어 있는 곳에 magnet를 장착하였고 magnet를 1개 장착한 경우와 2개를 양단에 장착시킨 것과 Sm-Co계 magnet분말을 에폭시 수지와 복합화하여 장착시켜 낮은 구동전압에서 동작되게 함으로써 scanner의 효율을 개선하고자 하였다. 또한 광 스캐너에 일반적으로 사용되고 있는 정전 액튜에이터는 공기 중의 먼지나 습기 등 외부요인에 영향을 받는 결점을 갖고 있다. 이를 개선하기 위해 낮은 입력 임피던스를 가지는 자기 액튜에이터를 사용함으로써 나타나는 효과에 대하여 연구하였다.


    This paper is focused on the improvement of reflection angle of an optical scanner by changing a shape of a torsion bar attached with an optical scanner reflector(mirror). In order to improve the light efficiency of tile optical scanner by virtue of the magnetic effect, which tiny magnets are attached under both ends of the optical scanner reflector, and hence the optical scanner reflector was operated in relatively lower driving voltage. By changing the torsion bar's shape I type Into S type, we've got the lower resonant frequency(32.5Hz) of an optical scanner than that of conventional one(50Hz). According to these results. The reflection angle of an optical scanner with magnets was much larger in the range of about 14.8° without a magnet. By making use of a magnetic actuator instead of a conventional electrostatic actuator, the optical scanner was less Influenced from outdoor dust or moisture.


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