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학위논문 상세정보

TCPCVD 방법에 의해 형성돤 저유전 상수를 갖는 a-C:F 박막에 대한 연구 원문보기
(A) Study for Properties of a-C:F Thin Film with Low-κ Formed by TCPCVD Method

  • 저자

    김태언

  • 학위수여기관

    濟州大學校 大學院

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    물리학과

  • 지도교수

  • 발행년도

    2003

  • 총페이지

    39p.

  • 키워드

    TCPCVD 저유전 상수 a-C:F 박막 박막;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T10067621&outLink=K  

  • 초록

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