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학위논문 상세정보

Wavelet 변환을 이용한 파장 주사 간섭계에서의 박막 두께 형상 측정 원문보기
Thin-film thickness profile measurement using wavelet transform in wavelength scanning interferometry

  • 저자

    황영민

  • 학위수여기관

    서울대학교 대학원

  • 학위구분

    국내박사

  • 학과

    기계항공공학부

  • 지도교수

  • 발행년도

    2005

  • 총페이지

    xiv, 122 장

  • 키워드

    투명 박막;형상 측정;파장 주사 간섭계;음향광학변조필터(AOTF);Wavelet 변환;위상 복원;Transparent Thin Film;Wavelength Scanning Interferometry;AOTF(Acousto-Optic Tunable Filter);Wavelet Transform;Phase Retrieval;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T10070310&outLink=K  

  • 초록

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