본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

학위논문 상세정보

이종 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구 원문보기
Electrical and Optical Properties of AZO Thin Films Fabricated by Using Facing-Target Sputtering System with Hetero-Targets

  • 저자

    야오리타오

  • 학위수여기관

    대구가톨릭대학교 대학원

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    전자디스플레이공학과

  • 지도교수

    김종재

  • 발행년도

    2014

  • 총페이지

    vi, 74 p.

  • 키워드

    이종 타겟 이종 대향 타겟 스퍼터링 투명 전도성 산화물 FTS TCO AZO AZO 박막 X-선 회절분석기 X-선 회절분석기 4-Pin-Probe Hall effect 박막;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T13534538&outLink=K  

  • 초록

    초록이 없습니다.


 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역