본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

학위논문 상세정보

디지털 홀로그램을 이용한 플라즈마 입자 분포 연구 원문보기
Study on three-dimensional distribution of plasma particles using digital hologram particle imaging system

  • 저자

    정동화

  • 학위수여기관

    세종대학교 일반대학원

  • 학위구분

    국내석사

  • 학과

    전자공학과 Plasma

  • 지도교수

    김병환

  • 발행년도

    2014

  • 총페이지

    iv, 89 p.

  • 키워드

    Plasma DIH Langmuir Probe OES Monitoring Imaging;

  • 언어

    kor

  • 원문 URL

    http://www.riss.kr/link?id=T13541093&outLink=K  

  • 초록

    플라즈마(Plasma)는 반도체 소자 제조를 위한 미세 박막의 증착, 세정, 그리고 식각 공정에 이용되며, 공정의 질(Quality)과 생산성을 향상시키기 위해서는 플라즈마 모니터링이 필요하다. 플라즈마 고장을 감시하기 위해 여러 종류의 플라즈마 센서들이 이용되고 있으며, 여기에는 Optical Emission Spectroscopy, Langmuir Probe, 그리고 I-V Probe 등이 포함된다. 본 연구에서는 레이저를 챔버에 입사해 플라즈마 입자 정보를 수집하는 센서(Digital In-Line Holography-DIH)를 이용하여 모니터링 성능을 평가하였다. 최근 레이저를 챔버에 입사해 플라즈마 입자 정보를 수집하는 센서가 보고된 바가 있으며, 본 연구에서는 RF 소스 전력, Bias Power 및 Gas Flow에 따른 감시 성능을 평가하였다. DIH를 이용하여 플라즈마 입자 분포 영상을 획득하고 획득한 영상에서 입자 분포를 픽셀의 그레이스케일 (Grayscale) 정보를 이용하여 추출하였다. 추출된 입자분포를 OES와 Langmuir Probe 데이터와 비교 평가하였으며, DIH 정보가 이 두 센서와 강한 상관성 (Correlation)을 보이고 있음을 확인하였다. 이러한 상관성은 DIH 시스템이 OES 또는 Langmur Probe의 역할을 수행할 수 있음을 보이는 중요한 증거가 된다. 종래의 센서와 비교해서 가장 차별화된 점은 DIH 시스템이 플라즈마 임의의 공간에서의 플라즈마 입자분포를 제공할 수 있다는 점이며, 이는 향후 삼차원 플라즈마 장비와 공정 개발에 DIH 시스템이 핵심적으로 응용될 수 있음을 의미하며, 관련 신 산업의 창출이 기대된다. 주제어 : Plasma, DIH(Digital In-Line Holography), Langmuir Probe, OES(Optical Emission Spectroscopy), Monitoring, Monitoring, Imaging


 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역