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저온 소결성 세라믹 기판재료
Low Temperature Firing Ceramic Substrates for IC Package

김정돈   (한국과학기술연구원 기능요업연구실CC0186926  ); 손용배   (한국과학기술연구원 기능요업연구실CC0186926  ); 주기태   (한국과학기술연구원 기능요업연구실CC0186926  ); 장성도   (한국과학기술연구원 기능요업연구실CC0186926  );
  • 초록

    New ceramic substrates firable at low temperature ( $^{\circ}C$ ) were prepared with mixture of alumina and glass powders in CaO-Al2O3-SiO2 system. The substrate of alumina 40 wt% and glass 60 wt%, which was fired between 900∼1000 $^{\circ}C$ , shows low dielectric constant (5∼8 at 1 MHz), specific gravity of 3.10, relatively low thermal expansion coefficient (5.5 ${\times}$ 10-6/ $^{\circ}C$ at 40∼500 $^{\circ}C$ ) and excellent surface roughness (0.4∼0.5 ${\mu}$ Ra). These properties were thought to be superior to those of conventional Al2O3 ceramic substrates.


  • 참고문헌 (9)

    1. Thermal Conduction Module. A High Performance Multiayer Ceramic Substrate , A.J. Blodgett;D.R. Barbour , IBM J Res.Dev / v.26,pp.30-36,
    2. Low Temperature Cofireable Ceramics for Multilayer Interconnect Hybrids , A.L. Eustice;S.J. Horowitz;A.R. Travis , IMC proceeding / v.,pp.49-60,
    3. 저온소결성 세라믹 다층기판의 개발 , 장성도.;주기태.;김정돈.;손용배 , 과학기술처 특정연구개발 사업보고서 / v.N 319,pp.3107-1,
    4. 我カ社の低溫成基板 , 紫田 良昌.;近知夫 , エしクトロニク·スセラミクス / v.18,pp.17-23,
    5. Low Temperature sintered Ceramics for Hybrid Functional Circut(HFC) Substrates , T.D.Thanh et al , IMC Proceeding / v.,pp.220-223,
    6. Review of Multilayer Ceramics for Microelectronic Package , B.Schwarz , J. Phys Chem Solids / v.45,pp.1051-1068,
    7. Low firing Temperature Multilayer Glass-Ceramic Substrate , Y.Shimada et al , IEEE Trans. CHMT-6 / v.4,pp.382-388,
    8. Ceramic for Packaging , D.L. Wilcox , Solid State Technology / v.,pp.40-44,
    9. Low Firing Temperature Ceramic for Multilayer Ceramic Substrates , K. Kondo;M. Okuyama;Y. Shibata , Advance in Ceramics / v.,pp.77-87,

 저자의 다른 논문

  • 김정돈 (5)

    1. 1992 "X-선 회절분석법에 의한 $Ba(Zn_{1/3}Ta_{2/3})O_3$의 격자 비틀림 측정" 분석과학 = Analytical science & technology 5 (1): 111~114    
    2. 1992 "Raman 분광법을 이용한 $Li_{1-X}Al_{2X}Ta_{1-X}O_3$ 고용한계 분석" 분석과학 = Analytical science & technology 5 (1): 115~120    
    3. 1994 "$LiTaO_3$ 단결정 성장과 용기 및 분위기의 영향" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 31 (1): 39~46    
    4. 1999 "표면 코팅된 분말을 이용하여 제조된 반도성 $SrTiO_3$ 소결체의 입계화학과 전기적 특성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 36 (11): 1252~1260    
    5. 2000 "표면 코팅된 분말을 이용하여 제조된 반도성 $BaTiO_3$ 소결체의 입계 화학 및 전기적 특성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 37 (4): 338~344    
  • 손용배 (11)

  • 주기태 (8)

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