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미결정 FeZrN 박막의 자기특성 및 내식성에 미치는 Cr 첨가 효과
Effects of Cr Addition on the Magnetic Properties and Corrosion Resistance of Nanocrystalline FeZrN Thin Films

김태영    ((주)금성사 영상미디어연구소   ); 강남석    ((주)금성사 영상미디어연구소   ); 송기창    ((주)금성사 영상미디어연구소   ); 조삼제    ((주)금성사 영상미디어연구소   ); 안동훈    ((주)금성사 영상미디어연구소  );
  • 초록

    스퍼터방식으로 제조한 FeZrCrN 미결정박막의 질소 유입량의 변화와 Cr 첨가량 변화에 따라 연자기특성과 내반응성 및 내식성을 조사하였다. 질소 유립량 증가에 따라 포화자속밀도는 감소하고 적 절한량(질소 유입량 3%)의 질소가 유입 되었을 때 열처리후에도 이방성 분산 감소효과 등에 의하여 우수 한 연자기특성이 출현 하였으며, 이때 보자력은 0.4 Oe, 투자율은 5 MHz에서 2600 정도를 나타내었다. FeZrN 박막에 Cr을 7.5 at.% 정도 첨가하였을때 포화자속밀도는 12.5kg까지 감소하였지만 양호한 연자기 특성이 그대로 유지되었고 Cr 첨가에 의해 현저한 내식성의 향상과 집합 glass와의 내반응성의 개선이 있었다.


    With the variation of Cr content and $N_2$ flow ratio, the soft magnetic properties, corrosion resistance and reactivity of the sputtered nanocrystalline FeZrCrN thin flims were investigated. In case of FeZrCrN thin films, a saturation magnetization was decreased with increasing $N_2$ flow ratio. In addition, good soft magnetic properties were obtained at the flow ratio of 3% $N_2$ . The $Fe_{64.9}Zr_{8.8}Cr_{5.8}N_{20.5}$ nanocrystalline thin film after annealing at $550^{\circ}C$ exhibited the saturation magnetization of 12.5kG, low coercivity of 0.4 Oe and high permeability of 2600 at 5 MHz. Films containing up to 7.5% Cr showed an enhanced corrosion resistance and reduced reactivity with the bonding glass without degradation of soft magnetic properties, although the saturation magnetization was decreased slightly with the Cr addtion.


  • 참고문헌 (17)

    1. N.Ishiwata;C.Wakabayahi;H.Urai , J. Appl. Phys. / v.69,pp.5616,
    2. R.Alben;J.J.Becker;M.C.Chi , J. Appl. Phys. / v.49,pp.1653,
    3. N.Hasegawa;M.Saito , 電子情報通信學會 技術硏究報告 / v.MR89-12,pp.9,
    4. K.Kempter;H.Hoffmann , Phys. Stat. Sol. / v.34,pp.237,
    5. S.Suwabe;F.Tsunda;T.Nishiyma , IEEE Trans. Magn. / v.Mag-28,pp.2949,
    6. M.Kumura;K.Yamauchi;T.Kobayashi , J. Appl. Phys. / v.61,pp.3844,
    7. A.Morisako;K.Takahashi;M.Matsumoto , J. Appl. Phys. / v.63,pp.3230,
    8. M.Takahashi;T.Shimatsu , IEEE Trans. Magn. / v.Mag-26,pp.1485,
    9. N.Hasegawa;M.Saito , J. Magn. Soc. Jpn. / v.14,pp.313,
    10. K.Terunuma;H.Kawashima;K.Terazono , J. Magn. Soc. Jpn. / v.16,pp.257,
    11. H.Hoffmann , IEEE Trans. Magn. / v.Mag-4,pp.32,
    12. N.Nakanishi;O.Shimizu;S.Yoshida , J. Magn. Soc. Jpn. / v.15,pp.371,
    13. G.Herzer , IEEE Trans. Magn. / v.Mag-26,pp.1397,
    14. K.Nago;H.Sakakima;K.Oscano , IEEE Trans. Magn. / v.Mag-28,pp.2943,
    15. O.Shimizu;K.Nakanishi;S.Yoshida , J. Appl. Phys. / v.70,pp.6244,
    16. Y.Yoshizawa;S.Oguma;K.Yamauchi , J. Appl. Phys. / v.64,pp.6044,
    17. H.Hoffmann , J. Appl. Phys. / v.35,pp.1790,

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