본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society v.4 no.3, 1994년, pp.201 - 207   피인용횟수: 1

퍼멀로이 박막의 보자력 및 실효투자율에 미치는 스퍼터링 조건의 영향
Influence of Sputtering Conditions on The Coercive Force and Effective Permeability of Permalloy Thin Films

김현태    (서울대학교 공과대학 금속공학과   ); 김상주    (서울대학교 공과대학 금속공학과   ); 한석희    (한국과학기술연구원 금속연구부   ); 김희중    (한국과학기술연구원 금속연구부   ); 강일구    (한국과학기술연구원 금속연구부   ); 김인응    (삼성종합기술원 신소재응용연구소  );
  • 초록

    RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 퍼멀로이(NiFe) 박막에 대하여 투입전력, 아르곤 압력, 바이어스 전압등의 스퍼터링 조건이 퍼멀로이 박막의 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 투입전력에 따른 보자력의 변화는 300~400W에서 낮은 값을 지녔으며 아르곤 압력에 따른 변화는 1~5mTorr에서 낮은 값을 나타내었다. 스퍼터링 조건에 따른 최소의 보자력값은 400 W, 5mTorr 와 300 W, 2mTorr에서 각각 0.10 Oe를 나타내었고 최대의 투자율값은 400 W, 5mTorr에서 2800(1 MHz)을 나타내었다. 또한 저압의 스 퍼터링 압력에서 바이아스를 가할 경우 보자력은 이에 비례해서 오히려 증가하였다. 박막의 Ni 함량의 변화는 아르곤 압력이 증가함에 따라 점차적으로 감소하나 2~10mTorr 범위에서는 다시 증가하는 경향을 보였다. 내부응력은 아르곤 압력이 증가함에 따라 압축응력에서 인장응력으로 변하였으며 5mTorr에서 내 부응력이 거의 사라졌다.


  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 1997. "A Study on the Anisotropy Inhomogeneity of Permalloy Thin Films" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society, 7(4): 186~190     

 저자의 다른 논문

  • 김상주 (5)

    1. 1994 "타게트 제조조건이 퍼멀로이 박막의 보자력 및 투자율에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 4 (4): 319~325    
    2. 1994 "V22Ti16Zr16Ni39X7(X=Cr, Co, Fe, Mn, Al) 금속수소화물전극에 관한 연구" 수소에너지 = Journal of the Korean Hydrogen Energy Society 5 (1): 1~8    
    3. 1994 "니켈/금속수소 축전지의 금속수소 전극에 관한 연구(I)" 공업화학 = Applied chemistry for engineering 5 (1): 81~89    
    4. 1995 "THE EFFECT OF INTERNAL STRESS ON THE SOFT MAGNETIC PROPERTIES OF PERMALLOY THIN FILMS" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 5 (5): 533~537    
    5. 1995 "$Si_2H_6$$GeH_4 $가스를 이용한 LPCVD $Si_{1-x}Ge_x$ 합금 박막의 제작" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (s1): 178~184    
  • 한석희 (16)

  • 강일구 (14)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
  • 한국자기학회 : 저널
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기