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초정밀 위치결정을 위한 6자유도미동기구의 궤적 특성에 관한 연구
A Study on Trajectory Characteristics of the Six-Degrees-of-Freedom Fine Motion Mechanism for the Ultra Precision Positioning Decision

김재열    (정회원, 조선대학교 공과대학 정밀기계공학과   ); 윤성운    (정회원, 조선대학교 공과대학 기계공학과  );
  • 초록

    The purpose of this research is to examine precise linear motion and rotary motion. A six-degrees-of-freedom fine motion mechanism is introduced to drive an object precisely in directions of X, Y and Z-axes and around them : three rectangular linear motion and rotary ones. An experimental mechanism is introduced in which a $70 $\times$ 70 $\times$ 70 $\times$ ( ${mm}^3$ ) cube object is driven by six PZT actuator. The study is to establish the six-degrees-of-freedom fine motion mechanism of linear motion and rotary motion using PZT actuator.


  • 주제어

    6자유도미동기구 .   궤적특성 .   위치결정 .   직선운동 .   회전운동 .   회전운동 .   압전엑츄에이터.  

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