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Sol-gel법과 급속 열처리에 의한 PZT 강유전 박막의 제작과 그 특성
Fabrication and characteristics of PZT ferroelectric thin films by Sol-Gel processing and rapid thermal annealing

백동수    (연세대학교 전기공학과   ); 최형욱    (연세대학교 전기공학과   ); 김준한    (연세대학교 전기공학과   ); 신현용    (남서울대학교 전자공학과   ); 김규수    (울산전문대학 전자과   ); 박창엽    (연세대학교 전기공학과  );
  • 초록

    In this study, ferroelectric thin films of PZT with different Zr/Ti ratio were prepared by sol-get processing and annealed by rapid thermal annealing at for 10 sec. -1 min. Structures of the annealed films were examined by X-ray diffraction and SEM. Thin films of PZT with perovskite structure have been obtained by annealing at or above and for 20 seconds or longer. Maximum remnant polarization of 10.24.mu.C/cm $^{2}$ and minimum coercive field of 20.06 kV/cm were obtained from the 56/44 and 65/35 Zr/Ti composition films, respectively. Dielectric constant, .epsilon. $_{r}$ of 500-1300 and dielectric loss, tan .delta., of 0.01-0.035 were obtained from the films.s.


  • 주제어

    졸겔법 .   급속열처리 .   PZT박막 .   강유전특성.  

  • 이 논문을 인용한 문헌 (3)

    1. Jeong, Kyu-Won ; Park, Young ; Ju, Pil-Yeon ; Park, Ki-Yup ; Song, Joon-Tae 2001. "Electrical Properties of 50% Pb-excess PZT Thin Films Deposited on the Glass Substrates" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 14(5): 370~375     
    2. 2001. "Recovery of Etching Damage of Etched PZT Thin Film by Inductively Coupled Plasma" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 14(7): 551~556     
    3. 2003. "Dielectric and Piezoelectric Properties of xPb(Al0.5Nb0.5)O3-(1-x)Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 Thin films Prepared by PLD" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 16(9): 795~800     

 저자의 다른 논문

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    1. 1992 "고주파소자의 기판용 $Pb(Mn_{1/3}Nb_{2/3})O_3+PZT$ 세라믹스의 압전특성에 $Cr_2O_3$의 첨가가 미치는 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 5 (1): 14~27    
    2. 1992 "$TiO_2$가 습도센서용 ${MgFe_2}{O_4}$세라믹스의 구조적 특성에 미치는 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 5 (4): 406~410    
    3. 1993 "Sol-Gel법으로 제조된 $PbTiO_3$ 강유전 박막의 구조적, 유전적 특성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 30 (9): 695~700    
    4. 1993 "PSS-PZT계 세라믹스의 탄성표면파 속도특성에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 6 (2): 109~114    
    5. 1995 "PZN-PZ-PT 세라믹스 압전팬의 특성에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 8 (1): 1~5    
    6. 1996 "Sol-gel법에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 강유전 박막의 전기특성" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 (2): 132~137    
    7. 1998 "Sol-Gel법으로 제작된 광메모리영역 PLZT박막의 전기적 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (1): 57~61    
    8. 1998 "Sol-Gel법으로 제작한 X/65/35 (X=6~11) PLZT 박막의 전기 및 광학 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (3): 237~241    
    9. 1998 "레이저 에블레이션법으로 제작된 PLZT 박막의 구조 및 전기적 특성에 관한 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (10): 866~870    
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