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플라즈마중합 스티렌 박막의 e-beam 레지스트 특성에 관한 연구
A study on the E-beam resist characteristics of plasma polymerized styrene

이덕출    (인하대학교 전기공학과   ); 박종관    (인하대학교 전기공학과  );
  • 초록

    In this paper, we study on the plasma polymerized styrene as a negative electron-beam resist. Plasma polymerized thin film was prepared using an interelectrode inductively coupled gas-flow type reactor. We show that polymerization parameters of thin film affect sensitivity and etching resistance of the resist. Molecular weight distribution of plasma polymerized styrene is 1.41-3.93, and deposition rates of that are 32-383[.angs./min] with discharge power. Swelling and etching resistance becomes . more improved with increasing discharge power during plasma polymerization. Etch rate by RIE is higher than that by plasma etching.


  • 주제어

    전자선 레지스트 .   플라즈마중합 .   분자량분포 .   내에칭성 .   반응성 이온에칭.  

  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2003. "Fabrication Technology for Improving Pattern Quality in Two-Dimensional Photonic Crystal Structure" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 16(6): 515~521     

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    1. 1986 "X선장치용(線裝置用) 절연유(絶緣油)의 도전특성(導電特性)에 관한 연구(硏究)" 대한방사선기술학회지 = Journal of Korean Society of radiological technology 9 (1): 73~81    
    2. 1987 "X선조사(線照射)에 의한 절연유(絶緣油)의 도전특성(導電特性)에 관한 연구(硏究)" 대한방사선기술학회지 = Journal of Korean Society of radiological technology 10 (1): 75~83    
    3. 1988 "PZT/Epoxy (1-3형) 복합재료의 두께변화에 따른 압전특성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 25 (1): 7~14    
    4. 1988 "PZT/PVDF O-3형 복합전체에 있어서 PZT 체적비 변화가 유전 및 압전특성에 미치는 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1 (1): 44~53    
    5. 1988 "절연유의 전기전도 현상에 미치는 방사선 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1 (3): 235~242    
    6. 1988 "방사선(放射線) 조사(照射) 중(中) 절연유(絶緣油)의 유기전류(誘起電流)에 관한 연구(硏究)" 대한방사선기술학회지 = Journal of Korean Society of radiological technology 11 (1): 33~41    
    7. 1989 "초음파 변환기 응용을 위한 PZT/고분자 압전 복합재료의 전기물성에 관한 기초연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 2 (1): 14~24    
    8. 1989 "PVDF의 결정구조가 압전특성에 미치는 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 2 (2): 127~136    
    9. 1990 "압출가공방법에 의한 PZT세라믹스-고분자 압전복합재료의 제조 및 특성 연구" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 27 (1): 74~78    
    10. 1990 "플라즈마 중합 MMA의 유전특성 개선에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 3 (2): 115~122    

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