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SF$_6$+$N_2$혼합기체의 전자 이동속도 측정 및 수송계수 해석
The measurement of electron drift velocity and analysis of transport coefficients in SF$_6$+$N_2$ gas

하성철    (동국대학교 전기공학과   ); 하영선    (대림전문대학 제어계측학과  );
  • 초록

    In this paper, electron drift velocity is experimentally measured in SF $_{6}$ +N $_{2}$ Gas by induced cur-rent method and quantitaive production of electron transport coefficient is calculated by backward-prolongation of Boltzmann equation. Then electron energy distribution function and attachment coefficients are calculated. This paper can use the electron drift velocity by experimentally and the electron transport coefficient by calculated as a basic data of mixed Gas by comparing and investigating.g.


  • 주제어

    전자이동속도 .   전자수송계수 .   전자에너지분포함수 .   전자충돌단면적 .   전자부착계수.  

 저자의 다른 논문

  • 하성철 (19)

    1. 1990 "Na-He 혼합증기중에서 충돌단면적에 의한 전자군의 수송계수 해석" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 3 (2): 138~146    
    2. 1991 "$H_2$, CO 기체중에서 전자군의 이동속도 및 충돌단면적 결정에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 4 (2): 143~149    
    3. 1992 "시변자계측정용 센서에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 5 (4): 430~438    
    4. 1993 "$CO_2$기체의 운동량 변환충돌단면적 및 전자에너지분포함수 특성해석" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 6 (1): 63~68    
    5. 1993 "Ar, Hg 및 Ar-Hg 혼합증기중에서 전자 에너지분포함수와 수송특성에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 6 (3): 233~240    
    6. 1993 "$SF_6$가스의 전자이동속도 측정 및 수송계수 해석" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 6 (6): 524~535    
    7. 1996 "$SF_6$ 가스의 전자수송특성에 관한 몬테칼로시뮬레이션" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 (7): 660~667    
    8. 1997 "$e^-$-$CF_4$산란중에서 전자군의 확산계수 및 에너지분포함수 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 10 (4): 342~348    
    9. 1998 "$SF_{6+}Ar$혼합기체의 전자수송특성 개선에 관한 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (1): 67~73    
    10. 1999 "전자 Swarm법에 의한 $SiH_4$ 플라즈마의 전자이동속도 및 특성에너지 해석" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 12 (1): 88~93    

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