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Pd활성제와 열처리 온도에 의한 ${SnO_2}/{Al_2}{O_3}$ 가스센서에 미치는 감응효과
The effect of Pd activator and annealing temperatures on the response characteristecs of the ${SnO_2}/{Al_2}{O_3}$gas sensor

전춘생    (인하대학교 전기공학과  );
  • 초록

    이 논문은 $SnO_2$ 에 소량의 Pd를 첨가하여 이것을 $Al_2O_3$ 기판위에 진공증착시켜 가스소자를 제작한 후, 소자의 감지특성에 영향을 미치는 열처리 온도, 소자의 온도, Pd의 첨가량의 변화 효과를 조사한 것이다. 소자의 열처리 온도가 $550^{\circ}C$ 일때와 소자의 동작온도가 $350^{\circ}C$ 일때 ethanol gas에 접촉시 소자 저항이 가장 낮았다. Pd 1 wt%를 첨가한 경우 에탄올 가스에 대한 소자의 감지특성이 가장 양호하였으며, 저농도 영역에서 특히 우수하였다.


    This paper is aimed to study the effect of Pd activator, the annealing temperature, and operating temperatures on the response characteristics of the $SnO_2/Al_2O_3$ sensor. The resistance of device has shown minimum value when annealing temperature and operating temperature of device are $550^{\circ}C$ and $350^{\circ}C$ respectively in ethanol gas. And the response characteristics of the device showed the best results when lwt% Pd was added to SnOz especially in low concentration of ethanol gas.


  • 참고문헌 (12)

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 저자의 다른 논문

  • 전춘생 (9)

    1. 1975 "황축교류자계에 의한 대기중에서의 교류 아아크의 이동에 관한 연구" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 24 (6): 77~84    
    2. 1988 "무기질충진 에폭시수지의 열화 및 트래킹 현상에 미치는 자외선 조사의 영향" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1 (2): 136~148    
    3. 1988 "프레온-22를 작동유체로 사용한 소용량 온도차 발전에 관한 실험적 연구" 태양에너지 = Solar energy 8 (2): 26~38    
    4. 1991 "(p)ZnTe/(n)Si 태양전지와 (n)CdS-(p)ZnTe/(n)Si 복접합 박막의 광도전 특성에 관한 연구" 태양에너지 = Solar energy 11 (3): 74~83    
    5. 1991 "(P)SiC/(N)Si 이종접합 태양전지에 관한 연구" 태양에너지 = Solar energy 11 (1): 41~49    
    6. 1992 "이가열원(二加熱源) 증착법(蒸着法)에 이한 산화물(酸化物) 반도체(半導體) $[(I_{n2}O_3)_x{\cdot}(S_nO_2)_{1-x}]_{(n)}/Silicon(p)$, 태양전지(太陽電池)에 관한 연구(硏究)" 태양에너지 = Solar energy 12 (2): 62~78    
    7. 1993 "CdS 박막의 광전도 특성에 미치는 활성제의 영향" 태양에너지 = Solar energy 13 (2): 133~139    
    8. 1994 "Hall효과를 이용한 InSb가 자기 Sensor에 관한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 4 (1): 113~116    
    9. 1994 "${AI_2}{O_3}$/ AI 및 ${SnO_2}-{AI_2}{O_3}$/AI박막습도 센서에 관한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 4 (2): 159~165    

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