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자장하에서 성장한 CoCr박막의 자기적 특성 및 미세구조에 관한 연구
A Study on the Magnetic Properties and Microstructure of CoCr Thin Films Growing under Magnetic Field

이유기    (한양대학교 금속공학과   ); 장평우    (청주대학교 물리학과   ); 이택동    (한국과학기술연구원 재료연구단   ); 이계원    (한양대학교 금속공학과  );
  • 초록

    인가자장하에서 성장한 $Co_{83}Cr_{17}$ 박막의 자가적 특성 및 미세구조를 조사하였고, 인가자장을 가하지 않은 경우에 성장한 박막과 그 특성 및 미세구조를 비교 하였다. 인가자장은 박막의 포화자화와 수평방향 보자력에는 아무런 영향을 주지 못하였지만, 수직보자력과 유효수직이방성자계를 감소시켰다. 또한 천이층의 결정립경과 두께는 인가자장에 의해 영향을 받지 않았지만, C축배향성은 약간 악화되었다. 또한 TEM사진은 인가자장의 유무에 관계없이 박막의 두께가 두꺼워질수록 (002)방위의 결정립 등이 우선적으로 성장함을 보여주었다.


    Magnetic properties and microstructures of the $Co_{83}Cr_{17}$ films growing under the applied magnetic field were studied. In comparison, those of the films growing without magnetic field were also studied. Magnetic field does not affect saturation magnetization and in-plane coercivity of the films. On the contrary perpendicular coercivity and effective perpendicular anisotropy field decreased. Grain size and the thickness of the so-called transition layer were not affected and the C-axis alignment of the films was slightly deteriorated due to magnetic field. Also, microstructures of the sputtered films showed larger grain sizes of strong (002) preferred orientation for thicker film specimens independent of applied magnetic field.


  • 참고문헌 (17)

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 저자의 다른 논문

  • 장평우 (14)

    1. 1993 "수직자기기록용 Co-Cr-Ta 박막의 자기적 성질에 대한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 3 (1): 41~47    
    2. 1994 "초미세결정합금 $Fe_{76}Cu_{1}Nb_{3}Si_{14}B_{6}$의 강자성공명 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 4 (1): 7~11    
    3. 1994 "Permalloy 다층화와 CoZrNb 중간층이 CoCr/NiFe 매체의 기록특성에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 4 (1): 20~24    
    4. 1997 "비정질 재료의 자기특성에 미치는 자장중 열처리의 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 7 (4): 180~185    
    5. 1997 "퍼말로이 박막의 이방성불균일에 관한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 7 (4): 186~190    
    6. 1999 "기판온도가 MgO(001) 기판위에서 에피택시성장한 Fe스파터박막의 특성에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 9 (4): 184~189    
    7. 2001 "자성분야의 특허출원동향과 특허 권리범위 작성" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 11 (6): 278~284    
    8. 2002 "보자력 향상을 위한 Ti/CoCrPt박막의 하지층" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 12 (3): 94~98    
    9. 2003 "열처리온도가 고상에피택시 YIG박막의 특성에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 13 (6): 221~225    
    10. 2004 "가스관의 자속누설탐사에서 잔류자화의 영향에 관한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 14 (4): 143~148    

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