본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

Rheed 반점강도의 변화를 이용한 Si(111)-Ad 표면조사
The study of Si(111)Au surface by variation of RHEED spot intensity

곽호원    (경북대학교 물리학과   ); 이의완    (경북대학교 물리학과   ); 이상윤    (경북대학교 물리학과  );
  • 초록

    Si(111)표면위에 Au의 증착량과 기판온도에 따른 표면구조의 변화를 RHEED(Reflection High Energy Electron Diffraction)상(pattern)과 RHEED상의 회절반점(spot)강도변화를 이용하여 조사하였다. Si(111) $7\times7$ 구조를 Au 를 0.1ML-0.4ML증착후에 기판을 $350^{\circ}C$ - $750^{\circ}C$ 로 수초간 가열하면 $7\times7$ 구조에서 $7\times7$ + $5\times2$ 의 혼합 구조로 변화하였으며 증착량 0.4ML-1.0ML에서는 RHEED상이 기판온도와 증착량에 따라 $5\times2,\alpha- \sqrt{3} \times \sqrt{3},\beta- \sqrt{3} \times \sqrt{3}$ 의 구조들이 관찰되었다. $6\times6$ 구조는 기판온도 $270^{\circ}C$ - $370^{\circ}C$ 에서 증착량 0.8ML에서부터 형성되기 시작하여 1ML에서 완성되었다. AES(Auger Electron Spectroscopy)를 이용한 $\alpha- \sqrt{3} \times \sqrt{3},5 \times 2$ 구조에서의 Au원자의 이탈과정 조사에서 이탈 에너지는 각각 79kcal/mol, 82kcal/mol로 조사되었다.


    The Si(ll1) surface structures induced by deposition of Au atoms were investigated by RHEED system. When Au atoms were deposited on the Si(ll1) $7\times7$ surfade, the dependence of structures and phases on the substrate temperatures and coverages was drastic. For O.1ML to 0.4ML of coverage the $7\times7$ structure changes to $7\times7$ + $5\times2$ structure as temperature increases to $350^{\circ}C$ - $750^{\circ}C$ . Between 0.4M1 to 1.OML the phase changed to $5 \times 2,\alpha- \sqrt{3} \times \sqrt{3},\beta- \sqrt{3} \times \sqrt{3}$ structure according to the substrate temperature and coverages. When the coverages exceeds O.SML, the 6 x 6 structure appears at the substrate temperature range between $270^{\circ}C$ - $370^{\circ}C$ and compeletely transforms to 6 x6 at 1,OML. The isothermal desorption of Au on Si(ll1) surface investigated by using AES in the $\alpha- \sqrt{3} \times \sqrt{3},5 \times 2$ structures shows that the desorption energys of $\alpha- \sqrt{3} \times \sqrt{3}$ and 5 x 2 were 79Kcal/mol and 82 Kcal/mol respectively.


  • 참고문헌 (10)

    1. NEC ANELVA주식회사 , 박막측정 모니타 EVM-32 B / v.,pp.,
    2. T. Hasegawa;K. Tanaka;S. Hosaka;S. Hosoki , Report at Annual Meeting of Physical Society of Japan / v.,pp.436,
    3. G. Le Lay , Surf. Sci / v.132,pp.169,
    4. S. Ino , Jpn. J. Appl. Phys / v.16,pp.891,
    5. G. Le Lay;M. Manneville;R. Kern , Surf. Sci / v.65,pp.261,
    6. N. Osakabe;Y. tanishiro;K. Yagi;G. Honjo , Surf. Sci / v.97,pp.393,
    7. H.Lipson; K.E. Singer , J. Phys. / v.C7,pp.12,
    8. Hasegawa;H. Daimon;H. Matsumoto;S. Ino , Jap. J. Appl. Phys. / v.24,pp.L387,
    9. Y. Yabuuchi;F. Shoji;K. Oura;T. Hanawa , Surf. Sci / v.131,pp.L412,
    10. K. Higashiyama;S. Kono;T. Sagawa , Jpn. J. Appl. Phys / v.25,pp.L117,

 저자의 다른 논문

  • 곽호원 (5)

    1. 1993 "Si(111) Homoepitaxial성장에서 중간금속이 미치는 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 3 (3): 230~236    
    2. 1994 "RHEED 반점의 강도변화를 이용한 Si(111)-Sn 표면조사" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 3 (2): 186~189    
    3. 1997 "RHEED회절점의 강도변화에 따른 In/Si(111)에 대한 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (2): 172~176    
    4. 1998 "계면금속(Sn)이 흡착된 Ge(111)표면에서의 Ge의 층상성장에 대한 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (2): 77~81    
    5. 2001 "RHEED를 이용한 Ge(111)표면의 층상성장에서 Sn의 영향" 韓國産業應用學會誌 = Journal of Korea Society of Industrial Application 4 (4): 451~455    
  • 이의완 (10)

  • 이상윤 (19)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기