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$V_{1-x}M_xO_2$박막의 thermochromism에 대한 연구
A study on the thermochromism of $V_{1-x}M_xO_2$thin film

이시우    (수원대학교 전자재료 공학과   ); 이문희    (수원대학교 전자재료 공학과  );
  • 초록

    "Smart window"에 코팅재료로 쓰이는 thermochromic $Vo_{2}$ 박막을 전자빔 증착 방법으로 유리 기판위에 증착시켜 $0^{\circ}C$ - $90^{\circ}C$ 온도범위에서 가시광 및 근적외선의 투과율을 spectrophotometer로 측정하였다. $300^{\circ}C$ 의 기판온도와 $400^{\circ}C$ 어닐링 온도가 $VO_{2}$ 박막이 결정화되기 때문인 것으로 확인되었다. 또한, $VO_{2}$ 박막을 알곤중에서 어닐링하면 500nm이하의 파장에서는 그 투과율이 상당히 낮아지는 것으로 나타났다. W가 5a/0첨가된 $V_{0.95}W_{0.05}O_{2}$ 박막은 약 $0^{\circ}C$ 의 천이돈도를 나타내었고 Sn이 0.5a/o $V_{0.995}W_{0.005}O_{2}$ 박막의 경우에는 $300^{\circ}C$ 의 기판온도에서 증착한 후 $450^{\circ}C$ /5시간 동안 알곤가스 중에서 어닐링하였을때 뚜렷한 thermochromism을 나타내었으며 이 박막의 천이온도는 실용가능한 온도인 약 $25^{\circ}C$ 로 발견되었으며 약간의 이력곡선이 나타났다.력곡선이 나타났다.


    Thermochromic $Vo_{2}$ thin films for "smart windows" were prepared by electron beam evaporationmethod on a glass substrate and spectral transmittances were examined by spectrophotometer. Substratetemperature of $300^{\circ}C$ and annealing temperature of $400^{\circ}C$ were found to be effective to give athermochromism on $Vo_{2}$ thin film due to the crystallization of the thin film. Furthermore, annealing of $Vo_{2}$ thin film affected the spectral transmittance and reduced the transmittance significantly at wavelengthbelow 500nm. $V_{0.95}W_{0.05}O_{2}$ thin film doped by 5 atomic percent of W showed semiconductor-metal transition around 0 $0^{\circ}V_{0.995}W_{0.005}O_{2}$ thin film which contains 0.5 atomic percent Sn showed therrnochrornisrn when it was depositedat substrate temperature of $300^{\circ}C$ and annealed at $450^{\circ}C$ for 5 hours in argon gas. The transitiontemperature of the $V_{0.995}W_{0.005}O_{2}$ thin film was found to be about $25^{\circ}C$ and showed some hysterisis. and showed some hysterisis.


  • 참고문헌 (23)

    1. M. Fukuma;S. Zembutsu;S. Miyazawa , Appl. Optics / v.22,pp.265,
    2. Moon-Hee Lee;Si-Woo Lee , Processsing of 2nd Korea-Mexico joint Symposium / v.,pp.,
    3. E. I. Terukov;K. D. Ufert;F. T. Tela , Soviet Phys. Solid state / v.18,pp.1450,
    4. T. S. Eriksson;C. G. Granqvist , J. Appl. Phys. / v.60,pp.2081,
    5. A. Razavi;L. Bodyak;P. Fallon , J. Vac. Sci. and Technol. / v.A8,pp.1391,
    6. K.A. Khan;M.S. Khan , Promana-J. Appl. Phys. / v.38,pp.389,
    7. Reviews of Modern physics / v.40,pp.714,
    8. Noyes Publications , Handbook of deposition technologies for films and coatings (2nd ed) / v.,pp.,
    9. M. Ohring , The Materials Science of Thin Films / v.,pp.86,
    10. K. A. Khan;G. A. Niklassan;C. G. Granqvist , J. Appl. Phys. / v.64,pp.3327,
    11. K. A. Khan;C. G. Granqvist , Appl. Phys. Lett. / v.55,pp.4,
    12. I. Balbeg;B. Abeles;Y. Arie , Thin Solid Film / v.24,pp.307,
    13. E. Kusano;J. A. Theil , J. Vac. Sci. Technol / v.A7,pp.1314,
    14. A. Zylbersztejn;N. F. Mott , Phys. Rev. B / v.11,pp.4383,
    15. T. E. Phillips;R. A. Murphy;T. O. Pehler , Mat. Res. Bull. / v.22,pp.1113,
    16. C. H. Griffiths;H. K. Eastwood , J. of Appl. Phys. / v.45,pp.2201,
    17. T. E. Phillips;R. A. Murphy;T. O. Poehler , Mat. Res. Bull. / v.22,pp.1113,
    18. E. E. Chain , Appl. Optics / v.30,pp.2782,
    19. S. M. Blabulanam;T. S. Eriksson;G. A. Niklasson;C. G. Granqvist , Solar Energy Materials / v.16,pp.347,
    20. E. E. Chain , J. Vac. Sci. Technol. / v.A,pp.432,
    21. F. C. Case , J. Vac. Sci. Technol. / v.A2,pp.1509,
    22. J. Duchene;M. Terraillon;M. Pailly , Thin Solid Films / v.12,pp.23,
    23. G. V. Jorgenson;J. C. Lee , Sol. Energy Mat. / v.14,pp.205,

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