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이온충돌에 의한 기판 표면처리가 Y-Ba-Cu-O 박막의 성장에 미치는 영향
The Effect of Substrate Surface Treatment by Ion Bombardment on Y-Ba-Cu-O Thin Film Growth

김경중    (한국표준과학연구원   ); 박근섭    (한국표준과학연구원   ); 박용기    (한국표준과학연구원   ); 문대원    (한국표준과학연  );
  • 초록

    SrTiO3(100) 단결정을 3keV 아르곤이온으로 에칭하면 표면원소의 산화 상태가 환원되고 표면의 거칠기가 증가하는 것이 XPS와 SEM으로 측정되었다. 그러나 3keV의 산소이온으로 에칭하면 표면원소 의 화학적 상태도 변하지 않고 표면도 평탄한 상태로 계속 유지된다. 산소 이온에 의하여 에칭된 SrTiO3 기판상에 off-axis rf 스퍼트링 방법으로 성장된 YBa2Cu3Ox 박막이 아르곤 이온에 의하여 에칭 된 SrTiO3 기판상에 성장된 YBa2Cu3Ox 박막보다 높은 Tc,zero and Jc를 보여주었다. 이논문은 YBCO초전 도 박막의 성장과 전자공학적 활용을 위한 리토그라피 공정에서 이온밀링 공정의 조건은 매우 주의하여 선택되어야 함을 보여준다.


 저자의 다른 논문

  • 김경중 (10)

    1. 1992 "XPS와 SIMS에 의한 Co-Ni과 Au-Cu 합금표면 정량분석 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 1 (1): 106~114    
    2. 1995 "in-line XPS와 AFM을 이용한 유기물의 UV/ozone 건식세정과정 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (3): 261~269    
    3. 1997 "UV-excited chlorine radical을 이용한 실리콘 웨이퍼상의 금속 오염물의 건식세정에 관한 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (1): 9~19    
    4. 1998 "표면 조성분석의 정량화를 위한 Pt-Co 합금박막 표준시료의 개발 및 공동분석" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (3): 176~186    
    5. 1999 "표면분석용 인증표준물질의 개발 I : 표면조성분석용 합금박막 표준물질" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (b3): 276~282    
    6. 1999 "표면분석용 인증표준물질의 개발 II : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (b3): 283~289    
    7. 2002 "실리콘에 도핑된 붕소의 정량분석에 대한 공동분석연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 11 (4): 218~224    
    8. 2003 "플라즈마 처리가 유리섬유/PTEE 복합재료의 계면접착에 미치는 영향" 韓國纖維工學會誌 = Textile science and engineering 40 (5): 431~439    
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