본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

$H_2S$ 가스로 유황처리된 GaAs 표면의 AES 및 XPS 분석
AES and XPS Analysis of GaAs Surfaces Sulfurized by $H_2S$ Gas

신장규    (경북대학교 전자공학과   ); 이동근    (경북대학교 전자공학과   ); 김항규    (경북대학교 전자공학과  );
  • 초록

    본연구에서는 HCl 또는 NH4OH로 산화막을 식각학 GaAs 표면에 H2S 가스를 이용하여 유황처 리하였다. 표면의 화학적 조성 및 결합상태를 측정하기 위하여 AES 및 XPS를 사용하였다. 시편들은 30,200 및 $350^{\circ}C$ 로 가열하면서 H2S가스와 반응시켰다. 이때 유황은 GaAs 표면의 Ga 원자 및 As 원자 와 화학결합을 형성하고 있음이 밝혀졌다. 또한 $350^{\circ}C$ 로 가열된 시편이 $30^{\circ}C$ 또는 $200^{\circ}C$ 로 가열된 시편 보다 표면에 결합된 유황의 양이 많은 것으로 나타났다. 아울러 (NH4)2S 수용액 또는 Na2S 수용액으로 유황처리된 경우와 동일하게 H2S 가스로 유황처리된 GaAs 표면에서는 Ga 산화막 및 As 산화막이 거 의 관측되지 않았다.


 저자의 다른 논문

  • Shin, Jang-Kyoo (30)

    1. 1982 "알루미늄 게이트 PMOS 차동증폭기의 설계 및 제작" 電子工學會誌 = Journal of the Korean Institute of Electronics Engineers 19 (1): 14~19    
    2. 1984 "선형시변 시스템 기준 모델 적응제어에 관한 고찰" 電子工學會誌 = Journal of the Korean Institute of Electronics Engineers 21 (4): 78~83    
    3. 1994 "SIMOX SOI 홀 센서의 제조 및 온도특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 3 (1): 26~31    
    4. 1995 "(100) 실리콘 기판의 결정방향에 따른 다공질 실리콘 형성의 이방성에 관한 연구" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 4 (4): 70~74    
    5. 1995 "n-ITO/p-PSL 이종접합형 광검출 소자의 제조 및 그 특성" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 4 (1): 3~8    
    6. 1995 "스테인 에칭에 의한 실리콘 미세기계구조의 제조" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 4 (1): 64~71    
    7. 1999 "박막형 크로멜-알루멜 다중접합 열전변환기" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d36 (9): 37~45    
    8. 2000 "실리콘 빔이 실리콘 고무 멤브레인에 삽입된 빗살형 차압센서의 설계 및 제조" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 9 (6): 424~429    
    9. 2000 "저출력저항의 박막 크로멜-알루멜 다중접합 열전변환기" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 9 (4): 288~296    
    10. 2001 "독립성분해석을 이용한 Saliency map 모델 구현" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 10 (5): 286~291    
  • 김항규 (2)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
  • 한국진공학회 : 저널
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기