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LEED, SRPES를 이용한 Mg/Si(111)계의 연구
The Study of Mg/Si(111)system using LEED and SRPES

안기석    (성균관대학교 물리학과   ); 박래준    (성균관대학교 물리학과   ); 김정선    (성균관대학교 물리학과   ); 박종윤    (성균관대 학교 물리학과   ); 이순보    (성균관대학교 화학과  );
  • 초록

    Low Energy Electron Diffraction(LEED)와 Synchrotron Radiation Photoelectron Spe-ctroscopy (SRPES)를 이용하여 $Si(111)7{\times}7$ 표면위에 Mg의 흡착에 의한 초기계면과 실리사이드의 형성에 대하여 연구하였다. 기판온도를 상온으로 유지하는 경우 증착량의 증가에 따라 LEED pattern은 diffuse 7 ${\times}$ 7 diffuse 1 ${\times}$ 1, $2/3sqrt{3}{\times}2/3sqrt{3} R30^{\cdot}$ 구조로 변화하였다. $300^{\cdot}C$ 의 기판온도에서 관측되는 1 ${\times}$ 1 구조에 대한 surface sensitive Si 2p core level spectrum의 fitting 결과로부터 이 1 ${\times}$ 1구조는 적층성장한 Mg2Si 박막에 의한 구조임을 알수 있다. 그러나 이 1 ${\times}$ 1구조를 가진 Mg2Si 박막이 성장하지 못함을 예상할 수 있다. 그결과 Mg의 계속된 증착에도 불구하고 비정질의 Mgqkr막이 성장하였다.


 저자의 다른 논문

  • 박래준 (2)

    1. 1997 "알칼리금속이 흡착된 Si(111)$7\times7$ 계의 초기 산화 과정 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (2): 159~164    
    2. 1998 "Cu가 흡착된 $Si(100)-2\times1$ 표면의 원자구조 및 전자구조 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (4): 293~299    
  • 김정선 (5)

  • 박종윤 (25)

  • Lee, Soon-Bo (13)

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