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이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성개선
The Improvement in Pumping Characteristics of Sputter Ion Pumps in the Ultra High Vacuum(UHV) Region

김정선    (성균관대학교 물리학과   ); 여환욱    (성균관대학교 물리학과   ); 박종윤    (성균관대학교 물리학과  );
  • 초록

    초고 진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세가지 형태의 60(l/s) 형이온 펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta 선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다.


 저자의 다른 논문

  • 김정선 (5)

    1. 1994 "LEED, SRPES를 이용한 Mg/Si(111)계의 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 3 (3): 275~279    
    2. 1997 "알칼리금속이 흡착된 Si(111)$7\times7$ 계의 초기 산화 과정 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 6 (2): 159~164    
    3. 1998 "Cu가 흡착된 $Si(100)-2\times1$ 표면의 원자구조 및 전자구조 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (4): 293~299    
    4. 1999 "다양한 흡착자에 대한Si(113) $\times$2 표면의 상변화 연구" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (b3): 269~275    
  • 여환욱 (0)

  • 박종윤 (25)

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