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$RuO_2$ 박막의 제조와 물성
Fabrication and Physical Properties of $RuO_2$ Thin Films

서동주    (조선대학교 물리교육과   ); 이재연    (조선대학교 물리교육과   ); 김건호    (경상대학교 물리학과  );
  • 초록

    용액분무법으로 RuO2 박막을 석영 기판위에 성장시켰다. RuO2 박막의 결정구조는 정방 구조이 며 격자상수 a0=4.508 A, c0=3.092 A 이였다. RuO2 박막은 금속성 전도성을 나타냈다. RuO2박마의 광흡 수도는 후열처리함에 따라 증가하였고 박막의 광흡수도의 최소값은 후열처리 온도에 의존하지 않으며 에너지로 환산하면 ∼2.0eV로 거의 일정하였다. RuO2 박막의 후열처리의 온도와 후열처리 분위기가 기 판위에 성장된 RuO2 박막의 표면형태 grain 크기 grain 경계폭 전기적특성등에 영향을 미쳤다. RuO2 박 막이 실험실내의 공기중에 노출됨으로서 시료의 표면에 S와 C가 물리 흡착되었으며 sputtering 시간이 증가함에 따라 Ar+ 이온 빔의 충겨으로 RuO2가 부분적으로 환원되어 O원자의 피크 대 피크 높이가 감 소하여 O/Ru 의피크 높이의 비가 낮게 관측되었다.


 저자의 다른 논문

  • 서동주 (4)

    1. 1988 "이종접합 태양전지 (II-VI)의 제작과 물성에 대한 연구($n-Cd_{1-x}Zn_xS/p-Si$ 태양전지를 중심으로)" 태양에너지 = Solar energy 8 (1): 41~48    
    2. 1996 "분무열분해법으로 성장한 $Ru_{1-x}Ir_xO_2$ 박막의 구조와 전기적 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 5 (1): 67~72    
    3. 2001 "분무열분해법에 의한 ZnO:In 박막의 구조와 전기적 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 10 (2): 213~218    
  • 이재연 (1)

  • 김건호 (14)

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