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수치해석에 의한 유도결합 플라즈마의 특성연구
A Study on the Characteritics of inductively Coupled Plasma by Numerical Simulation

김윤택    (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀   ); 노영수    (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀   ); 이홍식    (한국전기연구소 플라즈마응용 연 구팀   ); 황기웅    (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀  );
  • 초록

    유도결합 플라즈마의 해석식으로 양극성 확산, 정상상태를 가정한 확산식, 열평형식과 변위전류 를 무시한 맥스웰 식을 사용하였다. 해석기법으로는 유한 차분법과 적분법을 축대칭 2차원(R, Z)모델에 적용하였다. 유도 결합 플라즈마장치의 RF 전력, 압력, 석영창 두께, 차폐부 높이에 따른 전자온도, 전자 밀도, 등가 정항 등가 인덕턴스 효율 결합계수 K, Q-factor의 변화를 구하였다. 특히 등가정항은 진공챔 버, 차폐부 및 코일의 손실저항을 고려하여 구하였다.


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  • 이홍식 (23)

    1. 1986 "송전선의 환경영향" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 35 (12): 768~775    
    2. 1993 "Nd:YAG 레이저 제작 및 응용 기술" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 42 (3): 19~27    
    3. 1994 "저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 43 (3): 29~35    
    4. 1997 "Power Laser 개발 기술동향" 전기저널 = Journal of electrical world 247 (): 42~47    
    5. 1999 "펄스 플라스마 반응기에 대한 임피던스 및 누설 인덕턴스 분석" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 48 (4): 253~260    
    6. 1999 "저에너지 대면적 전자빔 발생장치 개발에 관한 연구" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 48 (12): 785~790    
    7. 2000 "펄스플라즈마 반응기의 모델링에 의한 해석" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (1): 30~35    
    8. 2000 "XLPE 케이블의 전기트리 열화에 따른 전기적 특성 검토" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (7): 400~405    
    9. 2000 "보조 반사체를 이용한 광섬유 페브리페로 간섭계형 온도센서의 성능향상" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (7): 418~423    
    10. 2000 "가간섭성이 낮은 광원을 이용한 광섬유 온도 센서" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (12): 691~697    

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