본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

실리콘 Thermopile을 이용한 감습 소자의 제작
Fabrication of a Humidity Sensing Device using Silicon Thermopile

김태윤    (금성중앙연구소   ); 주병권    (한국과학기술연구원 이공학연구단   ); 오명환    (한국과학기술연구원 이공학연구단   ); 박정호    (고려대학교 전자공학과  );
  • 초록

    A humidity sensing device based on a new humidity sensing principle is designed and fabricated in this study. The silicon thermopile is consisted of 25 couples of p-type diffused layer/Al strips. The internal resistance and the Seebeck coefficient are 300kl and 537 $\mu$ V/K, respectively Fabricated sensors showed linear response characteristics proportional to relative humidity changes with a sensitivity of 9 $\mu$ V/%RH in the range from 20% to 90%.


 저자의 다른 논문

  • 주병권 (130)

    1. 1989 "실리콘 Thermopile 집적센서의 기술동향" 電子工學會誌 = The journal of Korea Institute of Electronics Engineers 16 (6): 90~99    
    2. 1990 "생체계측을 위한 피하주입형 Si센서의 기술동향" 電子工學會誌 = The journal of Korea Institute of Electronics Engineers 17 (3): 1~9    
    3. 1990 "소형 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가" 전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics 27 (11): 62~68    
    4. 1992 "마이크로 박막 센서의 기술동향" 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers 41 (2): 6~11    
    5. 1992 "(100) 실리콘의 깊은 이등망성 식각시 석각면의 가장자리에 존재하는 불균일성의 짤막한 고찰" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 2 (5): 383~386    
    6. 1993 "흐름측정용 실리콘 소자의 제작 및 특성 평가(l)" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 3 (1): 28~32    
    7. 1994 "실리콘 직접 접합 / 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 다이아프램의 형성과 실리콘 압력센서 제조에의 응용" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 3 (3): 45~53    
    8. 1994 "흐름측정용 실리콘 소자의 제작 및 특성 평가 (II)" 센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society 3 (1): 12~18    
    9. 1995 "직접 접합된 실리콘 기판쌍에 있어서 계면 산화막의 상태와 이의 새로운 평가 방법" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a32 (3): 134~142    
    10. 1996 "인이 주입된 poly-Si/SiO$_{2}$/Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (3): 126~134    
  • 오명환 (36)

  • 박정호 (59)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기