본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

$N_{2}O$ 산화막을 갖는 MOS 캐패시터의 전기적 및 신뢰성 특성
Electrical and Reliability properties of MOS capacitors with $N_{2}O$ oxides

이상돈    (연세대학교 전자공학과   ); 노재성    (금성 일렉트론㈜중앙연구소 8연구실   ); 김봉렬    (연세대학교 전자공학과  );
  • 초록

    In this paper, electrical and reliability properties of N $_2$ O oxides, grown at the temperature of 95 $0^{\circ}C$ and 100 $0^{\circ}C$ to 74 $\AA$ , and 82 $\AA$ . respectively, using NS12TO gas in a conventional furnace, have been compared with those of pure oxide grown at the temperature of 850 to 84 $\AA$ using O $_2$ gas. Initial IS1gT-VS1gT characteristics of N $_2$ O oxides were similar to those of pure oxide, and reliability properties of N $_2$ O oxides, such as charge trapping, interface state density and leakage current at low electric field under F-N stress, were improved much better than those of pure oxide. But, with increasing capacitor area. TDDB characteristics of N $_2$ O oxides were more degraded than those of pure oxide and this degradation of TDDB characteristics was more severe in 100 $0^{\circ}C$ N $_2$ Ooxide than in 95 $0^{\circ}C$ N $_2$ O oxide. The improvement of reliability properties excluding TDDB in N $_2$ Ooxides was attributed to the hardness of the interface improved by nitrogen pile-up at the interface of Si/SiO $_2$ , but on the other hand, the degradation of TDDB characteristics in N $_2$ O oxides was obsered due to the increase of local thinning spots caused by excessive nitrogen at interface during the growth of N $_2$ O oxides.


 저자의 다른 논문

  • 이상돈 (2)

    1. 1993 "직류 및 교류스트레스 조건에서 발생된 Hot-Carrier가 PMOSFET의 누설전류에 미치는 영향" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a30 (12): 77~87    
    2. 1994 "증착시 도핑된 비정질 Si 게이트를 갖는 MOS 캐패시터와 트랜지스터의 전기적 특성" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a31 (6): 107~116    
  • 노재성 (1)

  • 김봉렬 (29)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기