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AlGaAs/GaAs HBT의 제작과 특성연구
Fabrication and Characterization of AlGaAs/GaAs HBT

박성호    (한국전자통신연구소   ); 최인훈    (화합물반도체연구부   ); 오응기    (한국전자통신연구소   ); 최성우    (한국전자통신연구소   ); 박문평    (한국전자통신연구소   ); 윤형섭    (한국전자통신연구소   ); 이해권    (한국전자통신연구소   ); 박철순    (한국전자통신연구소   ); 박형무    (한국전자통신연구소  );
  • 초록

    We have fabricated n-p-n HBTs using 3-inchAlgaAs/GaAs hetero structure epi-wafers grown by MBE. DC and AC characteristics of HBT devices were measured and analyzed. For HBT epi-structure, Al composition of emitter was graded in the region between emitter cap and emitter. And base layer was designed with concentration of 1 ${\times}10^{19}/cm^{3}$ and thickness of 50nm, and Be was used as the p-type dopant. Principal processes for device fabrication consist of photolithography using i-line stepper, wet mesa etching, and lift-off of each ohmic metal. The PECVD SiN film was used as the inslator for the metal interconnection. HBT device with emitter size of 3 ${\times}10{\mu}m^{2}$ resulted in cut-off frequency of 35GHz, maximum oscillation frequency of 21GHz, and current gain of 60. The distribution of the ideality factor of collector and base current was very uniform, and the average values of off-set voltage and current was very uniform, and the average values of off-set voltage and current gain were 0.32V and 32 within a 3-inch wafer.


 저자의 다른 논문

  • 박성호 (11)

    1. 1995 "에미터와 베이스의 기하구조가 AlGaAs/GaAs HBT의 전기적 특성에 미치는 영향" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a32 (2): 57~65    
    2. 1997 "10-Gb/s 광통신시스템을 위한 GaAs HBT IC의 설계 및 제작" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (3): 52~59    
    3. 1997 "A 10-Gbit/s Limiting Amplifier Using AlGaAs/GaAs HBTs" Journal of electrical engineering and information science 2 (6): 197~201    
    4. 1998 "DC - 18GHz의 광대역 레이저 구동회로 제작 및 특성" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d35 (1): 34~40    
    5. 1998 "n형 InGaAs에 형성된 Pd/Ge계 오믹 접촉 특성에 미치는 급속 열처리 온도의 영향" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 7 (1): 24~28    
  • 오응기 (1)

  • 최성우 (1)

  • 박문평 (5)

  • Yoon, Hyung Sup (11)

  • 이해권 (7)

  • 박형무 (21)

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