본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

구리 금속선의 산화 방지를 위한 알루미늄 박막의 산화 방지 특성
Characteristics of the aluminum thisn films for the prevention of copper oxidation

이경일    (금성일렉트론㈜반도체연구소   ); 민경익    (서울대학교 대학원 금속공학과   ); 주승기    (서울대학교 대학원 금속공학과   ); 라관구    (금성일렉트론㈜반도체연구소   ); 김우식    (금성일렉트론㈜반도체연구소  );
  • 초록

    The characteristics of the oxidation prevention layers for the copper metallization were investigated. The thin films such as Cr, TiN and Al were used as the oxidation prevention layers for copper. Ultra thin aluminum films were found to prevent the oxidation of copper up to the highest oxidation annealing temperature among the barrier layers examined in this study. It was found that oxygen did not diffuse into copper through aluminum films because of the aluminum oxide layer formed on the aluminum surface and the ultra thin aluminum film could be a good oxidation barrier layer for the copper metallization.


 저자의 다른 논문

  • 민경익 (6)

    1. 1993 "${[Ni/Fe/Cu]}_{20}$ 다층 박막의 자기저항 특성에 관한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 3 (4): 289~292    
    2. 1993 "Co/Cu인공초격자에서 저온 열처리가 자기저항에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 3 (4): 305~309    
    3. 1993 "Co/Cu 인공초격자에서 구리기저층에 첨가된 니켈의 양이 자기저항에 미치는 영향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 3 (4): 310~313    
  • 주승기 (73)

  • 라관구 (2)

  • 김우식 (4)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기