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Bird's Beak 및 소자특성 개선을 위한 새로운 Isolation 기술에 대한 연구
A Study on the New Isolation Technology to Improve the Bird's Beak and the Device Characteristics

남명철    (인하대학교 전자공학과   ); 김현철    (인하대학교 전자공학과   ); 김철성    (인하대학교 전자공학과  );
  • 초록

    The local oxidation of silicon (LOCOS) technology, which uses a silicon nitride film as an oxidation mask and a pad oxide beween the silicon nitride and the silicon substrate, has been widely used in integrated circuits for process simplicity. But, due to long brid's beak length, there are difficulties in scabilities. Many advanced isolation techniques have been wuggested for the feduction of bird's beak length. In this paper, we presented reduced bird's beak length using the polybuffered oxide and the silicon nitride as the sidewall. Also, investigating the electrical behavior of the parasitic Al-gate MOSFET on LOCOS, we proved the validity for new isolation process.


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    1. 1994 "SOI MOSFET의 단채널 효과를 고려한 문턱전압과 I-V특성 연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a31 (8): 34~45    
    2. 1997 "우수한 수렴특성을 갖는 3차원 포아송 방정식의 이산화 방법" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (8): 15~25    
    3. 1997 "3차원 정상상태의 드리프트-확산 방정식의 해석 프로그램 개발" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (8): 41~51    
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    5. 2000 "다중BOX분할기법을 이용한 MOS FET의 강반전층내에서의 수직전계해석" 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 네트워크 및 서비스 25 (b8): 1469~1476    
    6. 2001 "다중BOX분할기법을 이용한 MOSFET의 강반전에서의 I-V 모델링" 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 네트워크 및 서비스 26 (b5): 677~684    
    7. 2002 "수치해석을 이용한 전력 BJT의 정특성 분석" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 6 (2): 119~127    
    8. 2002 "우수한 수렴특성을 갖는 3차원 열흐름 방정식의 이산화 방법" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 6 (2): 136~145    
    9. 2003 "직접회로용 NPN BJT의 베이스-컬렉터간 역방향 항복전압 추출 알고리즘" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 52 (2): 67~73    
    10. 2003 "직접회로용 BJT의 베이스 Gummel Number 해석 방법에 관한 연구" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 52 (2): 74~79    

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