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알루미늄/실리콘 직접 접촉창에 증착된 화학 증착 알루미늄의 스파이킹 특성
Spiking characteristics of the CVD aluminum plugged on silicon direct contacts

이경일    (금성일렉트론㈜반도체연구소   ); 김영성    (금성일렉트론㈜반도체연구소   ); 주승기    (서울대학교 금속공학과   ); 라관구    (서울대학교 금속공학과   ); 김우식    (서울대학교 금속공학과  );
  • 초록

    Aluminum films were chemically vapor deposited for the metallization of the integrated circuits and the spiking characteristics of the direct CVD Al/Si contacts were investigated. When the aluminum was formed by CVD uniform consumption of the substrate silicon was observed, which is quite different from the phenomena observed in sprttered Al. Silicon consumption occured during the deposition of CVD Al and the erosion depth of the silicon was several hundred $\AA$ when the continuous films were formed on the substrate while much less erosion of the silicon occured when the Al were formed in islands. When the submicron contacts were selectively plugged, contact resistances were very low and the erosion depth of the silicon was trivial.


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    1. 1989 "플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구" 금속표면처리 = Journal of the metal finishing society of Korea 22 (4): 215~220    
    2. 1989 "상온 플라즈마 질화막을 이용한 새로운 부분산화공정의 물성 및 전기적 특성에 관한 연구" 전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics 26 (4): 67~72    
    3. 1991 "구리의 선택적 전착에서 결정 입자의 크기가 전기적 접촉성에 미치는 영향" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 1 (2): 79~93    
    4. 1991 "다층 금속선 형성을 위한 신공정 개발에 관한 연구" 電子工學會誌 = The journal of Korea Institute of Electronics Engineers 18 (9): 53~58    
    5. 1992 "Lamp ZMR에 의한 SOI에서 비대칭 선형가열의 효과" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 2 (2): 53~62    
    6. 1992 "고주파 마그네트론 스퍼터링에 의해 형성된 Co/Pd 인공초격자의 수직자기이방성에 관한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 2 (3): 251~256    
    7. 1992 "자기저항 헤드의 연구개발 동향" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 2 (3): 282~290    
    8. 1993 "스퍼터링으로 제조한 새로운 완충막 위의 PZT 박막 특성에 관한 연구" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 30 (4): 332~338    
    9. 1993 "PZT 박막의 급속열처리시 Pb 함량이 상변태에 미치는 영향" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 30 (10): 803~810    
    10. 1993 "${[Ni/Fe/Cu]}_{20}$ 다층 박막의 자기저항 특성에 관한 연구" 韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society 3 (4): 289~292    

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