본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

진공증착중합에 의한 Polyimide 박막의 제조와 유전특성
Preparation and dielectric properties of polyimide thin films by vapor deposition polymerization method

이덕출    (인하대 공대 전기공학과   ); 김형권    (인하대 대학원 전기공학과  );
  • 초록

    Thin films of polyamic acid(PAA) were fabricated by vapor deposition polymerization(VDP) from pyromellitic dianhydride(PMDA) and 4,4'-diamino diphenyl ether(DDE). Thin films of polyimide(PI) were obtained by curing PAA, and their dielectric properties have been measured. The uniform thin films of PI formed by curing PAA at 300 .deg. C for 1 hr. which was confirmed by Fourier transform Infrared spectroscopy(FT-IR) absorption at 720, 1380, 1780c $m_{-1}$ . Relative permittivity and tan .delta. were 3.9 and 0.008 at 10kHz, respectively. (author). 8 refs., 11 figs., 1 tab.1 tab.


  • 주제어

    폴리아믹산 .   진공증착 중합 .   폴리이미드 .   열경화 .   비유전율.  

  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Kim, Hyeong-Gweon ; Lee, Boong-Joo ; Kim, Jong-Teak ; Kim, Yong-Bong ; Lee, Duck-Chool 1998. "The Surface Effect of Polyimide Thin Film by Vapor Deposition Polymerization Method With Plasma Treatment" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 11(5): 340~346     

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기