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조성변화에 따른 BST 박막의 특성에 관한연구
A study on the characteristics of BST thin films with various Ba/Sr Ratio

류정선    (현대전자 QE/A실   ); 강성준    (인하대학교 전자재료공학과   ); 윤영섭    (인하대학교 전자재료공학과  );
  • 초록

    In the present study, we have studied on the characteristics of BST thin films with various Ba/Sr ratios by using sol-gel method. Barium-acetate, strontium-acetate and titanium isopropoxide are used as starting materials to fabricate BST thin films by sol-gel method. The fabrication conditions are estabilished through the TG-dT analyses and XRD measurements. BST thin films with the Ba/Sr ratios of 90/10, 70/30, 50/50 and 30/70 were deposited on the Pt/Ta/SiO $_{2}$ Si substrate with the estabilished sol-gel process, and their characteristics were examined. The relative permittivity and the leakage current density at 5V vary from 287 to 395 and from 2.3 to 220 ${\mu}$ A/cm $^{2}$ , respectively, with various Ba/Sr ratio. Among the films investigatd in this research, BST (70/30) thin film shows the best relative permittivity and dielectric loss of BST (70/30) thin film are 395 and 0.045, respectively and the leakage current density at 5V is 2.3 ${\mu}$ A/cm $^{2}$ .


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    3. 1995 "표면탄성파 필터 설계용 시뮬레이션 개발" 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 14 (4): 64~73    
    4. 1996 "La 농도가 PLT 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 효과" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (2): 87~95    
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    8. 1997 "투과곡선을 이용한 La 농도에 따른 PLT 박막의 광학적 특성에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (5): 22~31    
    9. 1997 "MOCVD 법에 의해 증착된 TiO$_2$ 박막의 결정구조 및 광학적 특성" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (6): 50~57    
    10. 1997 "RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO$_{2}$ 박막의 제작과 특성에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (8): 8~14    

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