본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

Bull's eye effects 를 줄이기 위한 CMP system의 최적화 설계에 관한 연구
A study on the optimization of a CMP system design for lowering of bull's eye effects

정병훈    (동국대학교 전자공학과   ); 이진구    (동국대학교 전자공학과   ); 정철환    (동국대학교 전자공학과   ); 이응호    (쎄트리 연구소   ); 윤형진    (쎄트리 연구소   ); 백종태    (한국전자통신연구소   ); 유형주    (한국전자통신연구소  );
  • 초록

    A CMP system is newly proposed and analyzed by a home-made computer progarm. The proposed system is possibly to lower bull's eye effects such that the planarity of a wafer surface using a CMP system can be drasitcally improved. The optimum conditions for a design of the proposed system are verified using the home-made simulation program. For the proposed CMP system with a 12" diameter of platen, the optimum design conditons are the 0.09", 0.10", 0.12", and 0.14", clearance from the platern edge for wafer diameters of 5", 6", 8", and 12", respectively. These clear distance such as 0.09", 0.10", 0.12", and 0.14" are optimum lengths of the sample wafers extended ffrom the platen edge. In other words, shorter orbital lengths result in lowering of Bull's eye effects.


 저자의 다른 논문

  • Rhee, Jin-Koo (75)

    1. 1987 "Gallium Arsenide의 집적회로의 기술동향과 시장 전망" 電子工學會誌 = The journal of Korea Institute of Electronics Engineers 14 (1): 47~55    
    2. 1988 "SI GaAs : Cr과 Undoped GaAs의 깊은 준위" 전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics 25 (11): 1294~1303    
    3. 1994 "Undoped 표면층을 갖는 전력용 GaAs ,ESFET의 제작에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a31 (1): 65~70    
    4. 1995 "Conventional UV 리소그라피와 경사각증착에 의한 0.5$mu$m 전력용 CaAs MESFET 제작에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a32 (12): 130~135    
    5. 1995 "Air-Bridge 공정을 이용한 GaAs Power MESFET의 제작 및 특성 연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a32 (12): 136~141    
    6. 1996 "열적 증착법을 이용한 air-bridge 제작과 그 응용에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (12): 53~58    
    7. 1998 "GaN의 습식 화학식각 특성" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 8 (2): 249~254    
    8. 1998 "패턴 피치크기 및 밀도에 따른 Cu CMP 공정의 AFM 분석에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d35 (9): 20~25    
    9. 1999 "Sub-0.2${\mu}m$ 다층 금속배선 제작을 위한 Cu Dual-dmascene공정 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d36 (12): 37~42    
    10. 2000 "GaAs PHEMT를 이용한 B-WLL용 MMIC 저잡음 증폭기의 설계" 韓國電磁波學會論文誌 = The journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science 11 (1): 102~109    
  • 윤형진 (0)

  • 백종태 (11)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기