본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

다이아몬드 기판상에 증착된 ZnO 압전박막의 탄성표면파 특성
Surface Acoustic Wave Properties of ZnO Thin Films Deposited on Diamond Substrate

김영진    (경기대학교 전자 및 신소재공학부   ); 정영호    (경기대학교 전자 및 신소재공학부, 전자부품종합기술연구소, 전자부품종합기술연구소, 서울대학교 재료공학부, 서울대학교 재료공학부, 서울대학교 재료공학부  );
  • 초록

    ZnO 박막의 증착 거동에 대한 기본 실험을 하기 위하여 우선 코닝 7050 유리 기판을 사용하여 증착 변수에 따른 박막의 성장특성을 규명하였다. 산소가스의 영향을 보면, ZnO 박막의 산소를 주입시키지 않은 경우에는 배향성을 갖지 못하고 있으며, 일정양의 산소가 있어야 (002) 배향성을 가진 ZnO 박막이 증착되고 있음을 알 수 있었다. 또한 실험결과에 의하면 rf 전력과 기판온도에 따라서 ZnO 박막의 결정성 및 성장면의 큰 변화가 관찰되고 있는데, 이들 변수의 크기가 증가할수록 SAW소자에 적합한 양질의 배향성 박막을 얻을 수 있었다. 실험에서 얻은 최적조선은 rf 전력 300W, 기판온도 300℃, Ar/O2=50/50 이다. SAW 특성을 분석하기 위하여 diamond/Si 기판위에 Al 박막을 증착시킨 후 자체 제작한 마스크를 이용하여 건식 식각법에 의한 IDT 제작을 시도하였다. 그 다음 위의 최적 조건에서 ZnO 박막을 증착하고 탄성표면파 특성을 분석하였다. 측정에 사용한 디자인은 λ(파장)는 24μm으로서 측정결과 simulation 값과 실험치가 잘 일치하고 있었다. 측정된 중심주파수는 250MHz이고, 이로부터 계산한 ZnO/diamond 구조의 전단 속도는 약 6000m/s의 값을 나타냈으며, 이 값은 실제 이론치와 거의 일치하고 있었다.


    ZnO thin films were deposited on Corning 7059 glass substrates to study fundamental properties of films. According to the experimental results, (002) preferred ZnO thin films were grown by purging Ar/O2 mixed gas, but not without oxygen gas. The structure and the orientation of ZnO thin films were much affected by the substrate temperature and rf power. High quality ZnO films were obtained by increasing their values. Optimum deposition parameters were : 300W rf power, 300℃ substrate temperature, Ar/O2=70/30. To characterize SAW propagation properties, IDT was fabricated by etching Al films deposited on diamond/Si wafer with RIE. Measured λ(wavelength) was 24μm and experimental results were well matched with simulation. Center frequency was 250MHz, and the calculated phase velocity of ZnO/ diamond structure was about 6000m/s.


 저자의 다른 논문

  • 김영진 (45)

    1. 1993 "Diethylzinc를 사용하여 PECVD로 증착한 ZnO 박막의 미세 구조 분석" 한국결정학회지 = Korean journal of crystallography 4 (2): 92~99    
    2. 1994 "PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 4 (1): 90~96    
    3. 1994 "RF 마그네트론 스터터링에 의한 ZnO박막증착 및 SAW 필터 특성 분석" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 4 (7): 783~791    
    4. 1995 "RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Al이 첨가된 ZnO 투명전도막의 전기적 특성" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 5 (3): 280~287    
    5. 1995 "플라즈마 화학기상 증착법에 의한 B이 첨가된 ZnO 박막의 증착에 관한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 5 (5): 568~574    
    6. 1995 "플라즈마 화학기상 증착법에 의해 증착된 B이 첨가된 ZnO 박막의 전기적 특성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 4 (1): 85~90    
    7. 1995 "$SiN_x$유전 보호막이 이동통신용 고주파 SAW필터의 특성에 미치는 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 5 (6): 650~656    
    8. 1996 "사파이어기판 상의 ZnO 박막 성장에 관한 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 6 (3): 341~346    
    9. 1998 "ZnGa$_2$O$_4$ 박막형광체 성장에 관한 연구" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 (2): 145~150    
    10. 1998 "ZnGa$_2$O$_4$형광박막의 발광특성에 미치는 도핑 및 어닐리의 효과" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 (6): 619~625    

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드
  • 원문이 없습니다.

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기