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Floating Guard Ring 구조를 갖는 InP/InGaAs Avalanche Photodiode의 이중확산 방법에 의한 제작
Fabrication of InP/InGaAs Avlanche Photodeode with Floating Guard Ring by Double Diffusion

박찬용    (한국전자통신연구소 광전자연구실   ); 강승구    (한국전자통신연구소 광전자연구실   ); 현경숙    (한국전자통신연구소 광전자연구실   ); 김정수    (한국전자통신연구소 광전자연구실   ); 김홍만    (한국전자통신연구소 광전자연구실  );
  • 초록

    Floating guard ring(FGR) 구조를 갖는 avalanche photodiode(APD)는 제작이 매우 간단하고 제작된 소자의 신뢰성이 뛰어나기 때문에 고감도 특성의 고속동작 수광소자로 적합하다. 본 연구논문에서는 FGR APD의 구조설계, 제작공정 및 특성 측정 결과에 대해 논의하였다. FRG-APD는 이중확산 방법으로 제작하였으며 FGR이 가드링으로서 동작함을 2차원 이득특성 측정으로부터 확인할 수 있었다. 제작된 APD는 35GHz의 이득-대역폭 곱을 나타내었으며 2.5Gbps NRZ(Non-return-to-zero) 광신호에 대한 수신감도는 비트오율이 $10^{-9}$ 일 때 -31.9dBm이었다.


    We analyzed and fabricated InP/InGaAs avalanche photodiode (APD) having floating guard ring (FGR). Since the FGR-APD is very simple to fabricate and highly reliable, the fabrication of FGR-APD and its application to the optical receiver are very useful and interesting. A double zinc diffusion was employed to fabricate and one dimensional electric field analysis was used for design. Two dimensional gain measurement showed that the FGR suppressed gain at the curved edge, indicating the successful behavior as a guard ring. The fabricated device had 35 GHz of gain-bandwidth product, and showed the sensitivity of -31.9 dBm at a bit error rate of $10^{-9}$ when it was applied to a 2.5 Gbps optical receiver.


  • 참고문헌 (16)

    1. 박찬용;현경숙;강승구;남은수;김홍만 , 응용물리 / v.,pp.,
    2. J. N. Hollenhorst;D. T. Ekholm, J. M.;Geary, V. D.;Mattera, Jr.;R. Pawelek , High Frequency Analog Communications / v.995,pp.53,
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 저자의 다른 논문

  • 박찬용 (14)

    1. 1986 "수광소자" 전자통신 8 (4): 55~60    
    2. 1991 "누설전류가 작은 $1.3\mum$ GaInAsP/InP 평면매립형 레이저 다이오드" 전자통신 13 (4): 2~9    
    3. 1991 "고속 광통신용 GaInAs/InP PIN 수광소자 모듈 제작" 전자통신 13 (4): 52~57    
    4. 1994 "2.5Gbps 광통신용 InGaAs separate absorption grading multiplication (SAGM) advanche photodiode의 제작 및 특성분석" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 5 (2): 340~346    
    5. 1994 "2.5Gbps 광통신용 distrbuted feedback laser diode(DFB-LD) 모듈 제작 및 광송신 실험" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 5 (3): 423~430    
    6. 1994 "광통신용 APD-FET 광수신모듈 설계 및 제작" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 5 (1): 166~172    
    7. 1994 "실리콘 v-groove를 이용한 광섬유-광검출기 어레이 모듈 제작" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a31 (6): 88~97    
    8. 1997 "좁은 파장대역폭을 갖는 격자도움형 방향성 결합기 필터의 제작과 특성측정" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 8 (2): 149~153    
    9. 1998 "통신용 광검출기 소개" 전기전자재료 = Bulletin of the Korean institute of electrical and electronic material engineers 11 (3): 258~263    
    10. 2007 "앰비언트 디스플레이: 사용자 위치 이동 기반의 사진 내비게이션" 한국HCI학회논문지 = Journal of the HCI Society of Korea 2 (2): 27~34    
  • 강승구 (7)

  • 김정수 (14)

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