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마이크로파 플라즈마 화학기상성장법에 의해 (110)면으로 배향된 다이아몬드막의 합성
Synthesis of (110) oriented diamond films by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

박재철    (영진전문대 전자과   ); 박상현    (경남대학교 전기공학과  );
  • 초록

    As methane concentration was varied, the textures of diamond films deposited on Si(100)substrate were observed by XRD,SEM and Raman spectroscope. As a result, $O_{2}$ plasma etching has been useful to observe microscopic structure of diamond films by SEM. The cross section of diamond films deposited on Si(100)substrate with 4% concentration of methane to hydrogen was a polycrystal like a pillar. The diamond crystal like a pillar has been oriented to (110)surface and the high quality diamond film with FWHM of Raman spectra being 3.8 $cm^{-1}$ / has been grown. As time goes by deposition time, the preferred orientation increases


  • 주제어

    라민스펙트럼반치폭 .   주사형전자현미경 .   X-선 회절장치 .   주상형다결정.  

 저자의 다른 논문

  • 박재철 (13)

    1. 1994 "MWPECVD법에 의한 다이아몬드의 고속성장" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 3 (1): 122~129    
    2. 1996 "마이크로파 플라즈마 CVD법에 의한 섬유집합조직 다이아몬드막의 합성" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 (5): 470~475    
    3. 1998 "유기 박막의 전기적 특성 및 가스 반응 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 11 (10): 820~825    
    4. 1999 "LB막을 누적한 수정진동자의 온도 및 유기가스 반응특성" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 48 (7): 508~513    
    5. 2000 "IMI-O 고분자 LB막의 제작 및 전기적 특성" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 49 (2): 87~91    
    6. 2000 "금속이온 농도에 의한 고분자 LB막의 전자 특성" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. TE, 전문기술교육 37 (2): 1~5    
    7. 2002 "p-HP 고분자 LB초박막의 제작과 전기적 특성" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 51 (7): 287~291    
    8. 2003 "기능성 덴드리머 박막의 광학적 거동 및 전기적 특성" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 52 (5): 201~205    
    9. 2003 "수정진동자를 이용한 Viologen Self-Assembly 단분자막의 전기화학적 특성" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 16 (6): 496~500    
    10. 2004 "전해질 변화에 따른 Viologen 자기조립박막의 전하이동 특성 연구" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers 17 (12): 1337~1340    
  • 박상현 (15)

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