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레이저 어블레이션에 의한 강유전체 박막의 제작 및 응용 - 전기재료 기술

박창엽    (연세대 공대 전기공학과   ); 이상렬    (연세대 공대 전기공학과  );
  • 초록

    본고에서는 현재까지 연구되어온 강유전 박막 물질과 이들의 응용분야들을 개관하고, 또한 비교적 최근에 강유전체 박막 형성에 적용된 pulsed laser deposition(PLD)법을 소개하고, 이를 이용한 강유전체 박막의 제작 및 응용에 대한 연구 동향을 고찰하고자 한다.


  • 이 논문을 인용한 문헌 (2)

    1. Shim, Kyung-Suk ; Lee, Sang-Ryeol 1999. "Fabrication and Characterization of$(Pb_{0.72}La_{0.28})Ti_{0.93}O_3$ Thin Films by Pulsed Laser Deposition" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, 48(5): 303~308     
    2. 2003. "Hydrogen Post-annealing Effect of (Pb0.72,La0.28)Ti0.93O3 Films Fabricated by Pulsed Laser Deposition" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 16(3): 190~194     

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