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투과곡선을 이용한 La 농도에 따른 PLT 박막의 광학적 특성에 관한 연구
A study on the optical properties of PLT thin films with varying the La concentration by using the transmission spectrum

강성준    (인하대학교 전자재료공학과   ); 윤석민    (인하대학교 전자재료공학과   ); 윤영섭    (인하대학교 전자재료공학과  );
  • 초록

    We have measured the optical properties, thickness, and energy band gap of the P $b_{1-x}$ /100/L $a_{x}$ 100/ $Ti_{1-}$ 0.25x/100/ $O_{3}$ (PLT(x)) thin film prepared by the sol-gel method with varying the La concentration, x, fyom 15 nto 33 mol%. We have obtained the values from the tranmission spectrum and employed the envelope method in anayzing the spectrum. We have also performed the simulation of the transmission spectrum on the PC (personal computer) to verify the accuracy of the values 15 to 33mol%, the refractive index (at .lambda.=632.8nm) increases from 2.39 to 2.44. The extinction coefficient does not depend on the la concentration but mainly on te wavelength, and has the values between 0.2 and 0.5 at the wavelength shorter than 330nm and between 0.001 and 0.008 at the wavelength longer than 700nm. The energy band gap of the PLT (x) thin film has been obtained on the assumption of the direct band-to-band transition. It decreases from 3.28 to 3.17eV as the La concentration increases from 15 to 33 mol%. The thickness of the PLT(x) thin film has been also obtained in high accuracy by the envelope method..


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    2. 1995 "ULSI DRAM의 캐패시터 절연막을 위한 Paraelectric PLT 박막의 제작과 특성" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a32 (8): 78~85    
    3. 1995 "표면탄성파 필터 설계용 시뮬레이션 개발" 한국음향학회지= The journal of the acoustical society of Korea 14 (4): 64~73    
    4. 1996 "La 농도가 PLT 박막의 전기적 및 광학적 특성에 미치는 효과" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (2): 87~95    
    5. 1996 "조성변화에 따른 BST 박막의 특성에 관한연구" 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A a33 (6): 120~126    
    6. 1996 "Sol-Gel 법으로 제작된 PLT 강유전체 박막의 광학적 성질과 전기광학효과" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 7 (1): 44~50    
    7. 1996 "ULSI DRAM의 capacitor 절연막용 BST(Barium Strontium Titanate)박막의 제작과 특성에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 (4): 336~343    
    8. 1996 "고출력 laser diode를 위한 AR, HR coating simulation에 관한 연구" 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 9 (5): 498~505    
    9. 1997 "MOCVD 법에 의해 증착된 TiO$_2$ 박막의 결정구조 및 광학적 특성" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (6): 50~57    
    10. 1997 "RF Magnetron Reactive Sputtering 법을 이용한 RuO$_{2}$ 박막의 제작과 특성에 관한 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D d34 (8): 8~14    

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