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소자 시뮬레이션을 이용한 ESD 보호용 NMOS 트랜지스터의 항복특성 분석
Analysis on the breakdown characteristics of ESD-protection NMOS transistors based on device simulations

최진영    (홍익대학교 전기공학과   ); 임주섭    (씨앤드씨 엔지니어링  );
  • 초록

    Utilizing 2-dimensional device simulations incorporating lattic eheating models, we analyzed in detail the DC breakdown characterisics of NMOS trasistors with different structures, which are commonly used as ESD protection transistors. The mechanism leading to device failure resulting from electrostatic discharge was explained by analyzing the 1st and 2nd breakdown characteristics of LDD devices. Also a criteria for more robust designs of NMOS transistor structures against ESD was suggested by examining the characteristics changes with changes in structural parameters such as the LDD doping concentration, the drain junction depth, the distance between source/drain contacts, and the source junction area.


  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Choe, Jin-Yeong ; Song, Gwang-Seop 2001. "Mixed-Mode Transient Analysis of CDM ESD Phenomena" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, 38(3): 155~165     

 저자의 다른 논문

  • 최진영 (10)

    1. 1997 "기생저항 및 트랜지스터 비대칭이 고저항 SRAM 셀의 읽기동작에 미치는 영향" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 1 (1): 11~18    
    2. 2000 "1.9GHz CMOS RF Up-conversion 믹서 설계" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 4 (2): 202~211    
    3. 2001 "HBM ESD 현상의 혼합모드 과도해석" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 38 (1): 1~12    
    4. 2001 "CDM ESD 현상의 혼합모드 과도해석" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 38 (3): 155~165    
    5. 2003 "RF IC용 싸이리스터형 정전기 보호소자 설계에 관한 연구" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 7 (2): 172~180    
    6. 2004 "정전기 보호용 소자의 AC 모델링에 관한 연구" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 8 (1): 136~144    
    7. 2009 "NMOS 트랜지스터와 싸이리스터 보호용 소자를 이용하는 입력 ESD 보호방식의 비교 연구" 전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE 13 (1): 19~29    
    8. 2010 "싸이리스터와 다이오드 소자를 이용하는 입력 ESD 보호방식의 비교 연구" 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 47 (4): 75~87    
    9. 2011 "비교과과정 운영 사례 조사 및 운영방안 도출에 관한 연구" 공학교육연구 = Journal of engineering education research 14 (4): 69~77    
    10. 2014 "웹기반 학업성취도 관리시스템 구축에 관한 연구" The journal of the institute of internet, broadcasting and communication : JIIBC 14 (5): 11~17    

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