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반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능

유준    (충남대학교 전자공학과   ); 김재형    (충남대학교 전자공학과   ); 송태승    (충남대학교 전자공학과   ); 장종태    (충남대학교 전자공학과   ); 정기로    (코닉 시스템㈜  );
  • 초록

    현재 국내에서 반도체 장비용 공정제어기의 개발에 관심이 고조되고 있는 시점에서, 본 고에서는 반도체 장비용 공정제어기가 갖추어야 될 구조와 기능을 상용 제품의 기술검토를 통하여 정리해 보고 저자연구실에서 수행되고 있는 연구사례를 소개한다.


  • 참고문헌 (10)

    1. 반도체 장비용 공정제어기 설계 , 유준(외 8명) , 충남대학교 공과대학 국책사업 과제 년차보고서 / v.,pp.,
    2. 반도체 장비 개발 및 공정 DB 확립 , ETRI , 과기처 특정연구 개발사업 최종보고서 / v.,pp.,
    3. Techware System Corporation , TC-Ⅲ Hardware Reference Manual / v.,pp.,
    4. 아라전자 , VxWorks Real-Time Operation System / v.,pp.,
    5. Equipment Automation/Software & Hardware , SEMI International Standard / v.,pp.,
    6. 반도체 공정의 생산 및 공정관리 시스템 개발 , 염봉진(외 5명) , 과기처 특정연구 개발사업 최종 보고서 / v.,pp.,
    7. Techware System Corporation , Control Vision Software Reference Manual / v.,pp.,
    8. Prentice Hall , Internetworking with TCP/IP / v.,pp.,
    9. R&D용 고성능 LPCVD 장비 개발 , ETRI , 과기처 특정연구 개발사업 최종보고서 / v.,pp.,
    10. Integrated Computer Solution Inc. , The Builder Xcessory User's Guide / v.,pp.,

 저자의 다른 논문

  • 유준 (62)

    1. 1987 "일련의 상호연결된 연속시간 시스템의 비집중 모델기준 적응제어" 전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics 24 (6): 930~935    
    2. 1987 "Lyapunov 설계에 입각한 로보트 매니퓰레이터의 적응제어" 전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics 24 (6): 936~941    
    3. 1991 "두 대의 로봇의 근사 최소시간 제어를 위한 충돌회피 궤적 계획" 大韓機械學會論文集 15 (5): 1495~1502    
    4. 1995 "음향센서를 이용한 명중도 계측기법" 제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering 1 (1): 38~42    
    5. 1996 "변형도 계측을 위한 퍼지 정보융합 기법" 電子工學會論文誌. Journal of the Korea institute of telematics and electronics. B b33 (4): 41~51    
    6. 1996 "전위장을 이용한 로봇 경로계획의 구조적 Local minimum을 극복하는 경로계획 방법" 電子工學會論文誌. Journal of the Korea institute of telematics and electronics. B b33 (9): 13~23    
    7. 1997 "속도및 쿼터니언 부분 정합방식에 의한 전달정렬 알고리즘" 제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering 3 (3): 238~243    
    8. 1997 "압전형 압력센서의 교정기법 자동화" 제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering 3 (4): 357~362    
    9. 1997 "선형변이 차동변압기를 이용한 왕복운동 계측기법" 제어·자동화·시스템공학 논문지 = Journal of control, automation and systems engineering 3 (5): 455~460    
    10. 1997 "졸음운전 방지를 위한 fuzzy 추론에 의한 각성도의 평가" 의공학회지 = Journal of biomedical engineering research 18 (4): 491~498    
  • 장종태 (0)

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