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한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics v.8 no.1, 1997년, pp.1 - 6   피인용횟수: 3

세개의 Gauss 동을 중첩한 간섭계형 결상계의 진폭임펄스와 초분해능
Amplitude impulse and superresolution of interferometric imaging system obtained by superposing three Gauss pupils

송영란    (인하대학교 이과대학 물리학과   ); 이민희    (인하대학교 이과대학 물리학과   ); 이상수    (한국과학기술원 물리학과  );
  • 초록

    역변환 문제(Inverse Problem)로 접근하여 상면에서의 최초 진폭임펄스 S $_{0}$ (x)를 Gauss 함수 g $_{1}$ (x), -1/2g $_{2-}$ (x+.DELTA.x $_{1}$ ), -1/2g $_{2+}$ (x-.DELTA.x $_{1}$ )를 중첩하여 설정하였다. 이를 Inverse Fourier Transform으로 동함수 A(.omega.)를 구하고, 유한구경 (-.omega. $_{0}$ ~+.omega. $_{0}$ )에서 A(.omega)를 Fourier Transform하여 회절상의 진폭임펄스(Amplitude Impulse) S(x)를 구하였다. .lambda.=193nm, NA=0.5인 광학계에서 S(x)의 반치폭, 즉 1/2(FWHM)을 수치계산하여 49nm를 얻었다. 이는 Rayleigh 한계분해능 .epsilon. $_{R}$ 의 반, 1/2.epsilon. $_{R}$ =96.5n 96.5nm 보다 작으므로 초분해능 광학계임을 알 수 있다. OTF를 구하여 광학계의 성능을 평가한 결과 고주파영역에서 성능이 우수함을 알 수 있었다. 광학계는 Twyman-Green 간섭계를 포함하는 간섭결상계가 되고, Gauss 진폭변조판은 Polysiloxane Glass Resin을 사용하여 만들 수 있음을 제안하였다.제안하였다.


    The amplitude impulse S(x) of an interferometric optical imaging system for λ=193 nm(ArF laser) and NA=0.5 is derived for the pupil with superposed three Gauss pupils $A_1$ ( $\omega$ ), $A_{2-}$ ( $\omega$ ) and $A_{2+}$ ( $\omega$ ). It is shown that FWHM of S(x) can be far less than the Rayleigh's criterion of resolution $\frac{1}{2}{\epsilon}_R$ , where ${\epsilon}_R$ is equal to λ=193 nm in the present case of NA=0.5. The three Gauss pupils are provided in an optical system which consists of a Twyman-Green interferometer and an imaging system. The system is proposed and relevent optical components are discussed. Siloxane polymer is suggested for fabrications of amplitude modulation plates. In the present work, we assumed the system is free from aberration and linear. The case that the system has residual aberrations is important, and further work is necessary.


  • 참고문헌 (10)

    1. Chang S. Chung;Harold H. Hopkins , Appl. Opt. / v.28,pp.1244,
    2. J. W. Goodman , Introduction to Fourier Optics / v.,pp.,
    3. Malacara , Optical Shop Testing(2nd ed.) / v.,pp.,
    4. 송영란;이민희;이상수 , 한국광학회지 / v.7,pp.89,
         
    5. Brydson , Plastics Materials(5th ed.) / v.,pp.,
    6. 박성종;최기준(외 4인) , 한국광학회지 / v.6,pp.101,
    7. OPN / v.6,pp.41,
    8. 이상수 , 파동광학 / v.,pp.,
    9. H. D. Gaskill , Linear Systems, Fourier Transforms, and Optics / v.,pp.,
    10. 정창섭;삼상현 , 새물리 / v.28,pp.233,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (3)

    1. 1997. "A modulated Gaussian pupil derived from diffraction inverse problem approach and the characteristics of the OTF of the system" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 8(2): 95~98     
    2. 1998. "Diffraction Amplitude Distribution of Finite Gaussian Pupil with Residual Aberrations" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 9(3): 142~145     
    3. 1999. "Fabrication of a gaussian amplitude modulation plate and measurement of diffraction linewidth" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 10(6): 448~452     

 저자의 다른 논문

  • Lee, Min-Hee (12)

    1. 1990 "마더형 플라즈마 집속장치의 제작과 특성" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 1 (1): 65~72    
    2. 1992 "포락선 방법을 이용한 흡수가 작은 박막의 광학 상수 및 두께 결정" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 3 (1): 1~10    
    3. 1994 "Rhodamine 560을 이용한 rhodamine 6G 색소 레이저의 출력 증가" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 5 (2): 266~271    
    4. 1994 "이온빔 보조 증착법에 의해 제작된 $TiO_2$ 박막의 광학적 특성" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 5 (1): 9~17    
    5. 1996 "Gaussian Apodization이 되어 있는 X-선 결상계의 초분해능" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 7 (2): 89~95    
    6. 1996 "윤대 동구에 대한 Gaussian Apodization" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 7 (3): 196~199    
    7. 1997 "회절 역문제로 유도한 변조된 Gauss 동함수에 대한 결상계의 OTF" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 8 (2): 95~98    
    8. 1998 "가우스 동 결상계에 대한 Strehl Ratio와 Marechal 한계" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 9 (4): 227~230    
    9. 1998 "잔류수차가 있는 유한 가우스 동의 회절진폭 분포" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 9 (3): 142~145    
    10. 1999 "가우스 진폭변조판의 제작 및 회절 선폭 측정" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics 10 (6): 448~452    

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