본문 바로가기
HOME> 논문 > 논문 검색상세

논문 상세정보

The Korean journal of ceramics v.3 no.1, 1997년, pp.24 - 28   피인용횟수: 1

Diamond Deposition by Multi-cathode DC PACVD

Lee, Jae-Kap  
  • 초록

    Diamond deposition by muti-cathode DC PACVD has been investigated. Five cathodes were independently connected to their own DC power supplies. The voltage and current of each cathods were varied up to 700 V and 3.5 A, respectively. The plasma formation and the diamond deposition behaviour on a substrate of 3 inch in diameter were investigated by optical emission spectroscopy, SEM and Raman spectroscopy. The plasma formed by five cathodes was non-uniform, which was depended on the geometry of cathods array. The growth rate and the quality of diamond film were closely related to the spatial distribution of the plasma.


  • 주제어

    Diamond .   DC plasma .   Multi-cathode .   OES .   Raman.  

  • 참고문헌 (8)

    1. J.-K. Lee;W.-S. Lee;Y,-J. Baik;K. Y. Eun , Korean Inst. Met. Mater. / v.32,pp.742,
    2. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Patent application No 08/458, 761 (USA) / v.,pp.,
    3. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , unpublished work / v.,pp.,
    4. S. Matsumoto;Y. Sato;M. Kamo;N. Setaka , Jpn. J. Appl. Phys. / v.21,pp.219,
    5. Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Thin Solid Film / v.214,pp.123-131,
    6. M. Kamo;Y. Sato;S. Matsumoto;N. Setaka , J. Cryst. Growth / v.62,pp.642,
    7. J.-k. Lee;Y.-J. Baik;K. Y. Eun , Materals Science and Engineering / v.A209,pp.399-404,
    8. K. Suzuki;A. Sawabe;T. Inuzuka , Jpn. J. Appl. Phys. / v.29,pp.153-157,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 2001. "Properties of a free-standing diamond wafer deposited by the multi-cathode direct current plasma assisted CVD method" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, 10(3): 356~360     

 저자의 다른 논문

  • 이욱성 (8)

    1. 2001 "WC-Co 소결체의 열처리시 나타나는 표면 입자 성장의 거동에 관한 연구" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 (1): 28~33    
    2. 2001 "Hot Filament CVD 방법을 이용한 Nanocrystalline Diamond 박막 합성" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 38 (1): 34~38    
  • 백영준 (28)

  • 은광용 (12)

 활용도 분석

  • 상세보기

    amChart 영역
  • 원문보기

    amChart 영역

원문보기

무료다운로드
  • NDSL :
유료다운로드

유료 다운로드의 경우 해당 사이트의 정책에 따라 신규 회원가입, 로그인, 유료 구매 등이 필요할 수 있습니다. 해당 사이트에서 발생하는 귀하의 모든 정보활동은 NDSL의 서비스 정책과 무관합니다.

원문복사신청을 하시면, 일부 해외 인쇄학술지의 경우 외국학술지지원센터(FRIC)에서
무료 원문복사 서비스를 제공합니다.

NDSL에서는 해당 원문을 복사서비스하고 있습니다. 위의 원문복사신청 또는 장바구니 담기를 통하여 원문복사서비스 이용이 가능합니다.

이 논문과 함께 출판된 논문 + 더보기