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The Korean journal of ceramics v.3 no.1, 1997년, pp.34 - 36  

Patterning of Diamond Micro-Columns

Cho, Hun-Suk  
  • 초록

    We have fabricated a patterned diamond field emitter on a silicon substrate. Fine diamond particles were planted on a silicon wafer using conventional scratch method. A silicon oxide film was deposited on the substrate seeded with diamond powder. An array of holes was patterned on the silicon oxide film using VLSI processing technology. Diamond grains were grown using a microwave plasma-assisted chemical vapor deposition. Because diamond could not grow on the silicon oxide barrier, diamond grains filled only the patterned holes in the silicon oxide film, resulting in an array of diamond tips.


  • 주제어

    Diamond field emitter .   Diamond micor-columns.  

  • 참고문헌 (5)

    1. K. Okano;K. Hoshina;M. Lida;S. Koizumi;T. Inuzuka , Appl. Phys. Lett. / v.64,pp.2742-2744,
    2. M. W. Geis;N. N. Efenmow;J. D. Woodhouse;M. D. McAleese;M. MarchywkaD. G. Socker;J. F. Hochedez , IEEE electron Device Lett. / v.12,pp.456-459,
    3. Z. -H. Huang;M. S. Chung;P. H. Cutler;N. M. Miskovsky;T. E. Sullivan , Appl. Phys. Lett. / v.67,pp.1257-1237,
    4. D. Hong;M. Aslam , Technical Digest of the 8th International vacuum Microelectronics Conference / v.,pp.320,
    5. W. Zhu;G. P. Kochanski;S. Jin;L. Swibles;D. C. Jacobeam;M McCormack;A. E. White , Appl. Phys. Lett. / v.67,pp.1157-1159,

 저자의 다른 논문

  • 백영준 (28)

    1. 1994 "Si 기판과 일정방향관계를 갖는 근사단결정 다이아몬드 박막 합성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 31 (4): 457~463    
    2. 1997 "Diamond Deposition by Multi-cathode DC PACVD" The Korean journal of ceramics 3 (1): 24~28    
    3. 1997 "$BCl3-NH3-Ar$계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 34 (3): 249~256    
    4. 1998 "Formation of SiC layer on Single Crystal Si Using Hot-Filament Reactor" The Korean journal of ceramics 4 (1): 25~27    
    5. 1998 "구리증기레이저를 이용한 다이아몬드막의 가공" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 (1): 41~47    
    6. 1999 "화학기상증착 다이아몬드 막의 레이저 평탄화" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 36 (4): 417~424    
    7. 1999 "2단계 성장법을 통한 근사단결정의 다이아몬드 박막 합성" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 9 (11): 1049~1054    
    8. 1999 "이온빔보조증착법으로 합성한 hexagonal BN막의 hexagonal ring의 배열과 결정성" 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society 8 (1): 43~50    
    9. 2000 "저 출력 레이저를 이용한 다이아몬드 후막의 절단" 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 37 (2): 140~144    
    10. 2000 "도핑되지 않은 다이아몬드 박막의 전기전도 경로와 전도기구 연구" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 10 (9): 593~600    

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