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The Korean journal of ceramics v.3 no.2, 1997년, pp.96 - 100  

The Effect of Hydrogen on the Tribological Properties of Hydrogenated Amorphous Carbon Films

Shin, Jong-Han  
  • 초록

    Hydrogenated amorphous carbon films were deposited on silicon substrates by using an RF PECVD. The hydrogen/methane ratio was varied from 50% to 88% to study the effect of hytdrogen in the film on the tribological properties. The friction and wear behaviors of the deposited films were investigated by ball-on-disk type wear tester. FT-IR spectra were used to characterize the structure of the films. Tribological properties of carbon films were correlated with their structure such as ratio of "polymer-like" stretching type and that of sp2 bonding. The result showed that the annealing caused a decrease in the amount of wear of contacted $Si_3N_4$ balls and a increase in the coefficient of friction. Possible explanation for annealing effect was discussed by the hydrogen desorption.esorption.


  • 주제어

    Amorphous hydrogenated carbon fims .   PECVD .   Wear .   Coefficient of friction .   FT-IR .   Hydrogen Film structure.  

  • 참고문헌 (16)

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