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The Korean journal of ceramics v.3 no.3, 1997년, pp.173 - 176  

Nucleation, Growth and Properties of $sp^3$ Carbon Films Prepared by Direct $C^-$ Ion Beam Deposition

Kim, Seong I.  
  • 초록

    Direct metal ion beam deposition is considered to be a whole new thin film deposition technique. Unlike other conventional thin film deposition processes, the individual deposition particles carry its own ion beam energies which are directly coupled for the formation of this films. Due to the nature of ion beams, the energies can be controlled precisely and eventually can be tuned for optimizing the process. SKION's negative C- ion beam source is used to investigate the initial nucleation mechanism and growth. Strong C- ion beam energy dependence has been observed. Complete phase control of sp3 and sp3, control of the C/SiC/Si interface layer, control of crystalline and amorphous mode growth, and optimization of the physical properties for corresponding applications can be achieved.


  • 주제어

    Diamond .   Ion beam deposition .   Direct metal ion beam deposition .   DLC .   Amorphous diamond .   Nucleation.  

  • 참고문헌 (6)

    1. J. Ishikawa , Rev. Sci. Instrum. / v.63,pp.2368,
    2. Y. Lifshitz;S.R. Kasi;J.W. Rabalais , Adv. Mater. Manu. Process / v.3,pp.157,
    3. J. Cuomo;D.L. Pappas;J. Bruley;J.P. Doyle;K.L. Saenger , J. Appl. Phys. / v.70,pp.1706,
    4. J. van der Weide;Z. Zhang;P.K. Baumann;M.G. Wensell;J. Bernhole;R.J. Nemanich , Phys. Rev. / v.B50,pp.5803,
    5. K.E. Speark , J. Amer, Ceram, Soc. / v.72,pp.171,
    6. R.U. Martinelli;D.G. Fisher , Proceeding of the IEEE / v.62,pp.1339,

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