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요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society v.34 no.6, 1997년, pp.601 - 610   피인용횟수: 1

알루미나/텅스텐 동시소성에 의한 다층 팩키지 제조시 적층조건에 따른 camber의 변화
Changes of Camber on Lamination Conditions in alumina/Tungsten Cofiring Multilayer Package

성재석    (전자부품종합기술연구소   ); 구기덕    (전자부품종합기술연구소   ); 윤종광    ((주) 글로텍   ); 이상진    (일리노이 주립대학 재료공학과   ); 박정현    (연세대학교 세라믹공학과  );
  • 초록

    In cofiring of multilayered alumina with tungsten, the change of camber with lamination condition was experimented and the effect of sintering shrinkage of alumina and tungsten was investigated. From the exact measurement of sintering shrinkage of tungsten thick film, as lamination pressure increased, the sintering shrinkage of alumina decreased but that of tungsten thick film was not changed. So it was though that the main factor which induced the sintering shrinkage difference between ceramics and metal with lamination condition was the change of sintering shrinkage of ceramics. In case of high lamination pressure, high green sheet density, the cofired specimen showed low camber due to low shrinkage difference between alumina and tungsten and there was a linear relation between camber and shrinkage difference. It was found that this shrinkage difference could change the thickness of tungsten film and the microstructure within via hole during cofiring.


  • 주제어

    Multilayered alumina .   Camber .   Tungsten .   Cofiring .   Lamination .   Package .   Sintering shrinkage.  

  • 참고문헌 (15)

    1. 다층 세라믹스의 소결 수축율에 대한 binder burnout 온도의 영향 , 성재석;구기덕;윤종광 , 요업학회지 / v.33,pp.1373-1379,
         
    2. Materials Compatibility and Cosintering Aspects of Shrinkage Control in Low-Tenperature Cofired Ceramic Packages , H.T. Sawhill , Ceramic Substrates and Packages for Electronic Applications, Advances in Ceramics / v.26,pp.307-319,
    3. Retractory Metallization of Green Ceramics , D.A. Chance , Metallurgical Transaction / v.1,pp.685-694,
    4. Tungsten Metallizing of Ceramics , P.F. Varadi;R. Domingues , Ceram. Bull. / v.45,pp.789-791,
    5. Effect of Sintering Conditions on Al₂O₃-MoMn Bond Strengths , M.E. Arthur;L.E. Fussell , Ceram. Bull. / v.50,pp.982-984,
    6. Microstructural Characterization of Cofired Tungsten-Metallized High-Alumina Electronic Subtrates , G. Behrens;A.H. Heuer , J. Am. Ceram. Soc. / v.75,pp.2815-2824,
    7. Bond Strength between Metallized Tungsten and Cofired Ceramics , K. Sahara;T. Okinagaa;K. Otsuka , IMC 1982 Proceeding / v.,pp.24-26,
    8. Interfacial Bond Strength in Alumina Ceramics Metallized and Cofired with Tungsten , K. Otusaka;T.Usami;M. Sckihata , Ceram. Bull. / v.60,pp.540-545,
    9. Cosintering of Alumina with Cobalt or Chromium doped Tungsten at 1400℃ , J. Guille;A. Bettinelli;J. Boissier;J.C. Bernier , J. Mat. Sci. / v.24,pp.97-100,
    10. Furnace Aytmosphere's Effect on Cofiring Tungsten-Alumina Miltilayer Substrates , E.A. Hayduk;K. Berger;B.A. Hasseler , J. Am. Ceram. Soc. / v.75,pp.2815-2824,
    11. J.H. Park;S.J. Lee , Effect of Oxygen Partial Pressure on Tungsten-Alumina Bonding Behavior / v.27,pp.755-762,
    12. Effect of Mismatched Sintering Kinetics on Camber in a Low-Temperature Cofired Package , G.Q. Lu;R.C. Suterlin;T.K. Gupta , J. Am. Ceram. Soc. / v.76,pp.1907-1914,
    13. Manganese Glass-Molybdenium Metallizing Ceramics , R.M. Fulrath;E.L. Hollar , Ceram. Bull. / v.47,pp.493-497,
    14. 다층 세라믹스 제조시 적층공정 변수에 따른 수축율 조절 , 성재석;구기덕;윤종광 , 요업학회지 / v.33,pp.1253-1259,
         
    15. Electron Probe Microanalysis of Ceramic-to-Metal Seals , L. Reed;R.A. Huggins , J. Am. Ceram. Soc. / v.48,pp.421-426,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. Jeong, M.S. ; Hwang, S.H. ; Chung, H.W. ; Rhim, S.H. ; Oh, S.I. 2007. "Influence of Laminating and Sintering Condition on Permittivity and Shrinkage During LTCC Process" 소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics, 16(5): 396~400     

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