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요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society v.34 no.8, 1997년, pp.908 - 913   피인용횟수: 1

$NbC_xC_{1-x}/Y_2O_3$ 박막코팅을 이용한 $Al_2O_3/Ti$ 계면특성향상 - (1) 스퍼터링 및 열안정성
Enhanced $Al_2O_3/Ti$ Interfacial Properties Using $NbC_xC_{1-x}/Y_2O_3$ Interlayers - (1) Sputtering and Thermal Stability

문철희    (위스콘신 대학교 재료공학과 연구원 (현재 삼성전관 근무)  );
  • 초록

    Multilayer NbCxC1-x/Y2O3/Ti were sputter-coated on the alumina substrate, starting with a 0.7 ㎛ thick NbCxC1-x layer grown on substrate, followed by 0.7 ㎛ thick Y2O3 layer and 1 ㎛ thick Ti layer. To find out the optimum conditions for thickness uniformity and adhesion, sputtering works have been done with the variation of sputtering power and Ar pressure. After vacuum annealing at 950℃ and 1000℃, the thermal stability of the NbCxC1-x/Y2O3/Ti coated alumina substrates has been investigated by peel off test. The coating scheme didn't cause any debonded layer after an annealing at 950℃ for 3hrs. However, it was peeled off after annealing at 1000℃ for 3hr. It was found that the thermal stability of Al2O3/NbCxC1-x/Y2O3/Ti coating scheme changed with the NbCxC1-x composition.


  • 주제어

    $Al_2O_3/Ti$ composites .   Interfacial properties .   Diffusion barrier .   Sputtering conditions .   Thermal stability.  

  • 참고문헌 (14)

    1. Processing of Tow-Based Ti Composites , R.R. Kieschke;H.E. Deve;C. McCullough;C.J. Griffin;F.H. Froes(ed.) , Resent Advances in Ti Metal Matrix Composites / v.,pp.3,
    2. Andris Simanovskis;S. Stolyarova , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.239,pp.599,
    3. Robert Beyers , Mat. Res. Soc. Symp. Proc / v.47,pp.143,
    4. T.S. Oh;R.M. Cannon;R.O. Ritchie , Acta Metall. / v.36,pp.2083,
    5. C. McCullough;R.R. Kieschke , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.119,
    6. Ajay K. Misra , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.73,
    7. J.E.E. Baglin , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.47,pp.3,
    8. MD. Thouless;O. Sbaizero;E.Y Luh , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.120,pp.333,
    9. Y.A. Chang , Mctallur. and Mat. Trans B / v.25B,pp.789,
    10. Control of Interfaces in Metal Matrix Composites , Y.A. Chang;R.R. Kieschke;J DeKock;M.X. Zhang , T.M.S. Symp. Proc. / v.,pp.3,
    11. Vijay Gupta;Jun Yuan;Doris martinez , J. Am. Ceram. Soc. / v.76,pp.305,
    12. T. Suzuki;H. Umehara;R. Hayashi , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.350,pp.59,
    13. J.A. DeKock , A Study of the Interfacial Stability of$Ti/Al_2O_3,\;Ti_3Al/Al_2O_3$and $Tial/Al_2O_3$Composite Materials / v.,pp.90,
    14. W. Sachse;H.D. Conway , Mat. Res. Soc. Symp. Proc. / v.153,pp.249,
  • 이 논문을 인용한 문헌 (1)

    1. 1997. "Enhanced $Al_2O_3/Ti$ Interfacial Properties Using $NbC_x-C_{1-x}/Y_2O_3$ Interlayers-(2) Determination of the Interfacial Properties" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, 34(9): 921~926     

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  • 문철희 (3)

    1. 1997 "$NbC_x-C_{1-x}/Y_2O_3$ 박막코팅을 이용한 $Al_2O_3/Ti$ 계면특성향상 -(2) 계면특성평가" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 34 (9): 921~926    
    2. 1997 "Al-15Cu-1Mg합금의 일방향응고시 시편의 길이변화에 따른 응고거동변화" 주조 = Journal of the Korean Foundrymen's Society 17 (4): 379~384    
    3. 1997 "Al-Cu-Mg합금의 일방향응고시 로온도에 따른 응고거동변화" 주조 = Journal of the Korean Foundrymen's Society 17 (6): 545~551    

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