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아르곤 플라즈마처리에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$박막의 표면거칠기 개선
The Improvement of Surface Roughness of Poly-$Si_{1-x}Ge_x$Thin Film Using Ar Plasma Treatment

이승호    (강원대학교 재료공학과   ); 소명기    (강원대학교 재료공학과  );
  • 초록

    In this study, the Ar plasma treatment was used to improve the surface roughness of Poly-Si1-xGex thin film deposited by RTCVD. The surface roughness and the resistivity of Si1-xGex thin film were investigated with variation of Ar plasma treatment parameters (electrode distance, working pressure, time, substrate temperature and R.F power). When the Ar plasma treatment was used, the cluster size decreased by the surface etching effect due to the increasing surface collision energy of particles (ion, neutral atom) in plasma under the conditions of decreasing electrode distance and increasing pressure, time, temperature, and R. F power. Although the surface roughness value decreased by the reduction of the cluster size due to surface etching effect, however, the resistivity increased. This may be due to the surface damage caused by the increasing surface collision energy. It was concluded that the surface roughness could be improved by the Ar plasma treatment, while the resistivity was increased by the surface damage on the substrate.


  • 주제어

    Poly- $Si_{1-x}Ge_x$ .   Plasma etching .   Surface roughness improvement .   Resistivity.  

  • 참고문헌 (10)

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 저자의 다른 논문

  • 이승호 (7)

    1. 1994 "PECVD법으로 증착된 $Ta_2O_5$박막의 누설전류에 미치는 RTA의 영향" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 4 (5): 550~555    
    2. 1995 "Process Characteristics for $YB_{2}Cu_{3}O_{7-d}$ Films Fabricated by Single Target Sputter and Surface Modification Technique" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 5 (5): 598~605    
    3. 1995 "RTCVD에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 증착" 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 5 (6): 690~698    
    4. 1997 "다결정 $Si_{1-x}Ge_x$박막 증착에 관한 연구(I) 증착변수에 따른 증착속도 및 Ge조성 변화" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 7 (4): 578~588    
    5. 1998 "다결정 $Si_{1-x}Ge_x$박막 증착에 관한 연구(II) 증착변수에 따른 표면거칠기, 결정립크기 및 전기적성질 변화" 한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology 8 (1): 64~72    
    6. 1998 "기상합성법에 의한 $\beta$-SiC 초미분말 합성 및 특성" 요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 35 (11): 1190~1196    
  • 소명기 (33)

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