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소음진동 = Journal of KSNVE v.7 no.2, 1997년, pp.247 - 254  

충격시험을 이용한 고정밀장비의 진동허용규제치 결정기법에 관한 연구
A Study on the Determination of Vibration Criteria for Vibration Sensitive Equipments Using Impact Test

이홍기    (유니슨산업(주) 유니슨기술연구소   ); 박해동    (유니슨산업(주) 유니슨기술연구소   ); 김두훈    (부산대학교 조선해양공학과   ); 김사수    (부산대학교 조선해양공학과  );
  • 초록

    In the case of a precision equipment, it requires a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection devices, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved giga class semiconductor wafers. This high technology equipments require very strict environmental vibration standard in proportion to the accuracy of the manufacturing, inspecting devices. The vibration criteria are usually obtained either by the real vibration exciting test on the equipment or by the analytical calculation. This paper proposes a new method to solve this problem at a time. The permissible vibration level to a precision equipment can be easily obtained by analyzing a process of Frequency Response Function. This paper also demonstrates its effectiveness by applying the proposed method to finding the vibration criteria of a Computer Hard Disk Driver by Impact Test.


  • 주제어

    충격시험 .   주파수응답함수 .   진동성능시험 .   진동허용규제치 .   진동민감장비 .   상대진동변위 .   상대허용진동변위 .   가진력허용규제치 .   Impact Test .   Frequency Response Function .   Vibration Test .   Vibration Criteria .   Vibration Sensitive Equipment .   Relative Displacement of Vibration .   Permissible Relative Displacement of Vibration .   Force Criteria.  

  • 참고문헌 (15)

    1. Micralign M500 Sensitivity to Floor Vibration and Acoustic Disturbances , PERKIN-ELMER Semiconductor Equipment Group , MLD 0036 / v.,pp.,
    2. SMS STAR Theory and Application, Issue A / v.25,pp.,
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    4. Vibration tolerance in optical imaging , B. J. Lin , Optical/Laser Lithography Ⅱ / v.1088,pp.106-114,
    5. A Multi-Input Modal Estimation Algorithm for Mini-Computers , Harvard Vold;John Kundrat e. g , SAE Paper, No. 8201194 / v.,pp.,
    6. Designing Sensitive Equipment and Facilities , Eric E. Ungar , Mechanical Engineering / v.,pp.,
    7. Pilips Electron Optics , PW6041/xx; CM300 Series Transmission Electron Microscopes Pre-Installation Manual(First edition 4822 870 10409 940927) / v.,pp.8.1-8.4,
    8. D. J. Ewins , Modal Testing; Theory and Practice / v.,pp.,
    9. Parameter Estimation Techniques for Modal Analysis , D. S. Brown;R. J. Allemang;Ray Zimmerman;M. Mergeay , SAE Paper No. 790221 / v.,pp.,
    10. Park Scientific Instruments , PSI Products Bulletin - Facility Requirements for AutoProbe M5 / v.,pp.,
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    13. Disk Drive Spindle Dynamics-Analysis and Measurement , G. M. Frees , ASME Adv. Info. Storage System / v.6,pp.237-262,
    14. Vibration Control Wafer Manufacturing Facilities , Donald E. Baxa , Semiconductor International / v.,pp.123-126,
    15. Vibration Control Design of High Technology Facilities , Eric E. Ungar , Sound and Vibration / v.,pp.,

 저자의 다른 논문

  • 박해동 (2)

    1. 1998 "고층 강구조물에서의 비팅(Beating)현상에 의한 특정 구조물의 공진에 대한 분석" 소음진동 = Journal of KSNVE 8 (4): 596~602    
    2. 1999 "준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구" 소음진동 = Journal of KSNVE 9 (6): 1227~1233    
  • 김사수 (30)

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