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Atila에 의한 평판형 고정진동자의 변위량 해석

이동준   (전자부품종합기술연구소 정밀기기연구센타 연구원  ); 임태빈   (전자부품종합기술연구소 정밀기기연구센타 센타장  ); 성하경   (전자부품종합기술연구소 정밀기기연구센타  );
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